[发明专利]一种卧式氧氮化炉在审
申请号: | 201911296762.X | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN110952061A | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 吴晓春 | 申请(专利权)人: | 上海始金新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C8/34 | 分类号: | C23C8/34 |
代理公司: | 上海宛林专利代理事务所(普通合伙) 31361 | 代理人: | 张明 |
地址: | 200072 上海市静安区广延路*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 卧式 氮化 | ||
1.一种卧式氧氮化炉,包括外壳(3)、隔热保护层(4)、加热棒(5)、内壳(6)、氨气供应装置(19),所述隔热保护层(4)设置在所述外壳(3)与所述加热棒(5)之间,所述内壳(6)外侧设置有多个加热棒(5),所述氨气供应装置(19)通过输气管(11)与所述内壳(6)连通,料框(15)能够被放置在所述内壳(6)底部,其特征在于,所述卧式氧氮化炉还包括输水管(9)、电阻加热装置(7)、滴水蒸发装置(8),所述电阻加热装置(7)和所述滴水蒸发装置(8)设置于所述内壳(6)内部,所述输水管(9)与所述电阻加热装置(7)连通。
2.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,还包括风机(14),所述风机(14)设置在所述内壳(6)内。
3.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,还包括真空泵(17),所述真空泵(17)穿过所述外壳(3)和所述隔热保护层(4),与所述内壳(6)连通。
4.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,所述内壳(6)内壁设置有氢传感器(10)。
5.根据权利要求4所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,所述内壳(6)内壁设置有氧传感器(12)。
6.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,所述氨气供应装置(19)与输气管(11)之间设置有干燥罐(18)。
7.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,还包括蒸汽释放装置(16),所述蒸汽释放装置(16)与所述滴水蒸发装置(8)连通,蒸汽由所述滴水蒸发装置(8)传递至所述蒸汽释放装置(16)。
8.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,所述蒸汽释放装置(16)分布在所述内壳(6)中。
9.根据权利要求1所述的一种卧式氧氮化炉,其特征在于,所述内壳(6)为圆筒形。
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