[发明专利]感放射线性树脂组合物及微透镜的形成方法

权利要求书

1.一种微透镜的形成方法，具有以下(1)至(4)的工序；

(1)将含有如下的聚合体、及感放射线性酸产生剂的感放射线性树脂组合物的涂膜形成于基板上的工序，所述聚合体具有：

结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；

结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及

结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基；

(2)对所述涂膜的一部分照射放射线的工序；

(3)对照射了放射线的所述涂膜进行显影的工序；以及

(4)在140℃以下的温度下对经显影的所述涂膜进行加热的工序；

式(1)中，R¹及R²分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1～4的烷基或碳数1～4的氟化烷基；其中，R¹及R²中的至少任一者为卤素原子或碳数1～4的氟化烷基。

2.根据权利要求1所述的微透镜的形成方法，其中所述感放射线性酸产生剂包含两种以上的化合物。

3.根据权利要求2所述的微透镜的形成方法，其中所述感放射线性酸产生剂包含醌二叠氮化合物、与产生pKa为4.0以下的酸的化合物。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微透镜的形成方法，其中所述聚合体的重量平均分子量为3,000以上且30,000以下。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的微透镜的形成方法，其中所述聚合体中的所述结构单元(a3)的含有比例为5质量％以上且40质量％以下。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的微透镜的形成方法，其中所述聚合体中的含有羧基的结构单元(a4)的含有比例为5质量％以下。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的微透镜的形成方法，其中所述结构单元(a1)含有氧杂环丙烷基、氧杂环丁烷基或四氢吡喃基。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的微透镜的形成方法，其中进而含有聚合性化合物。

9.根据权利要求8所述的微透镜的形成方法，其中所述聚合性化合物包含选自由多官能环氧化合物、多官能氧杂环丁烷化合物及多官能三聚氰胺化合物所组成的群组中的至少一种。

10.一种感放射线性树脂组合物，其用于根据权利要求1至9中任一项所述的微透镜的形成方法。

11.一种微透镜的形成方法，包括：

(1)在基板上形成根据权利要求10所述的感放射线性树脂组合物的涂膜的工序；

(2)对所述涂膜的一部分照射放射线的工序；

(3)对照射了放射线的所述涂膜进行显影的工序；以及

(4)对经显影的所述涂膜的至少一部分进一步照射放射线的工序；以及

(5)在140℃以下的温度下对所述(4)工序后的涂膜进行加热的工序。