[发明专利]感放射线性树脂组合物及微透镜的形成方法

说明书

本发明的目的在于提供一种如下的感放射线性树脂组合物以及使用其的微透镜的形成方法，即使进行140℃以下的加热处理也能够形成具有良好形状的微透镜，且灵敏度、保存稳定性、以及所形成的微透镜的耐化学品性及透明性也良好。本发明是一种感放射线性树脂组合物，含有如下聚合体、及感放射线性酸产生剂，所述聚合体具有：结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基，被用于全部形成工序中的最大加热温度为140℃以下的微透镜的形成。

技术领域

本发明涉及一种感放射线性树脂组合物及微透镜(microlens)的形成方法。

背景技术

作为传真机、电子复印机、固体摄像元件等的成像光学系统等中的光学系统材料，使用具有1μm～100μm左右的透镜直径的微透镜、或将这些微透镜规则排列而成的微透镜阵列(microlens array)。另外，在显示装置中，为了提升光提取效率，还采用了针对各像素而言在其光出射侧设置有微透镜的结构。

在这种微透镜的形成中，已知有在形成相当于微透镜的图案之后，通过加热处理使其熔融流动(melt flow)，并直接用作透镜的方法等。在所述微透镜的形成中，广泛使用感放射线性树脂组合物(参照日本专利特开平6-18702号公报、日本专利特开平6-136239号公报)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平6-18702号公报

[专利文献2]日本专利特开平6-136239号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

如上所述，在微透镜的形成中广泛采用如下方法，所述方法包括在形成相当于微透镜的图案之后，进行加热处理的工序。但是，当在具备互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor，CMOS)图像传感器或有机发光二极管等不耐热的元件的基板上形成微透镜时，并不优选在高温下进行加热处理。因此，期望在例如140℃以下的较低温度下加热，但在使用现有的感放射线性树脂组合物的情况下，在这种低温下的加热中，由于不产生充分的熔融流动等，因此难以形成具有良好形状的微透镜。另外，在微透镜形成用的感放射线性树脂组合物中，要求对放射线的灵敏度、保存稳定性、所形成的微透镜的耐化学品性以及透明性等。

本发明是基于如上所述的情况而成，其目的在于提供一种如下的感放射线性树脂组合物以及使用其的微透镜的形成方法，所述感放射线性树脂组合物即使进行140℃以下的加热处理也能够形成具有良好形状的微透镜，且灵敏度、保存稳定性、以及所形成的微透镜的耐化学品性及透明性也良好。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题而成的发明是一种如下的感放射线性树脂组合物，其含有如下的聚合体(以下，也称为“(A)聚合体”)、及感放射线性酸产生剂(以下，也称为“(B)酸产生剂”)，所述聚合体具有：结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基，所述感放射线性树脂组合物被用于全部形成工序中的最大加热温度为140℃以下的微透镜的形成。

[化1]

(式(1)中，R¹及R²分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1～4的烷基或碳数1～4的氟化烷基。其中，R¹及R²中的至少任一者为卤素原子或碳数1～4的氟化烷基。)