[发明专利]探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法

权利要求书

1.一种探针台故障检测系统，其特征在于，所述探针台故障检测系统至少包括：存储模块，数据采集模块，数据处理模块和显示模块；其中，

所述存储模块用于存储探针台硬体部位的变量的设定参数值；

所述数据采集模块用于采集探针台硬体部位的变量的实时进度数据值，并将采集到的所述实时进度数据值传输至所述数据处理模块；

所述数据处理模块连接所述数据采集模块及所述存储模块，用于获取所述设定参数值及所述实时进度数据值，将所述设定参数值与所述实时进度数据值对比，获得对比结果，并根据所述对比结果获得探针台硬体部位的具体故障点；

所述显示模块连接所述数据处理模块，用于显示所述设定参数值、所述实时进度数据值及所述对比结果。

2.根据权利要求1所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述探针台硬体部位包括装载部位、承载部位及主系统。

3.根据权利要求2所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述装载部位包括料盒锁、料盒承载、料盒盖、机械手臂及预对准卡盘；所述承载部位包括卡盘及清针台；所述主系统包括主真空系统、主压缩系统及主电源系统。

4.根据权利要求1所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述探针台硬体部位的所述变量包括供电状态、传感器开关状态、电磁阀开关状态、驱动器状态、气体压力值、部件运行位置及马达状态。

5.根据权利要求4所述的探针台故障检测系统，其特征在于：当所述变量为所述气体压力值及所述部件运行位置时，所述显示模块显示该变量的所述设定参数值及所述实时进度数据值；当所述变量为所述供电状态、所述传感器开关状态、所述电磁阀开关状态、所述驱动器状态及所述马达状态时，所述显示模块显示该变量的状态为“ON”或“OFF”。

6.根据权利要求1所述的探针台故障检测系统，其特征在于：所述探针台故障检测系统用于对所述探针台开机过程中故障的检测和/或对所述探针台运行过程中故障的检测。

7.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括如权利要求1～6任意一项所述的探针台故障检测系统。

8.一种探针台故障检测方法，其特征在于，所述检测方法至少包括如下步骤：

获取探针台硬体部位的变量的设定参数值；

采集探针台硬体部位的变量的实时进度数据值；

将所述设定参数值与所述实时进度数据值对比，获得对比结果，并根据所述对比结果获得探针台硬体部位的具体故障点；

显示所述设定参数值、所述实时进度数据值及所述对比结果。

9.根据权利要求8所述的探针台故障检测方法，其特征在于：所述探针台硬体部位包括装载部位、承载部位及主系统。

10.根据权利要求9所述的探针台故障检测方法，其特征在于：所述装载部位包括料盒锁、料盒承载、料盒盖、机械手臂及预对准卡盘；所述承载部位包括卡盘及清针台；所述主系统包括主真空系统、主压缩系统及主电源系统。

11.根据权利要求8所述的探针台故障检测方法，其特征在于：所述探针台硬体部位的所述变量包括供电状态、传感器开关状态、电磁阀开关状态、驱动器状态、气体压力值、部件运行位置及马达状态。

12.根据权利要求11所述的探针台故障检测方法，其特征在于：当所述变量为所述气体压力值及所述部件运行位置时，所述显示模块显示该变量的所述设定参数值及所述实时进度数据值；当所述变量为所述供电状态、所述传感器开关状态、所述电磁阀开关状态、所述驱动器状态及所述马达状态时，所述显示模块显示该变量的状态为“ON”或“OFF”。