[发明专利]一种芯片检测治具的取放芯片操作装置有效
申请号: | 201911305941.5 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN110993536B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 肖正富 | 申请(专利权)人: | 深圳新美化光电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 成都知都云专利代理事务所(普通合伙) 51306 | 代理人: | 陈钱 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 检测 操作 装置 | ||
1.一种芯片检测治具的取放芯片操作装置,包括升降机构(1)、抽拉机构(2)、存储机构(3)和拾取机构(4),其特征在于,所述升降机构(1)内安装有若干拾取机构(4),所述拾取机构(4)的下方且位于升降机构(1)内安装有抽拉机构(2),所述抽拉机构(2)的正下方且位于升降机构(1)内安装有存储机构(3);所述升降机构(1)包括检测箱(11)、限位条(12)、升降板(13)、纵向齿条(14)、转轴(15)、一号齿轮(16)、取放槽(17)、横板(18)和二号齿轮(19),所述检测箱(11)的两个相对内壁上均固定连接有两个限位条(12),四个所述限位条(12)之间设有升降板(13),所述升降板(13)的一侧边缘固定连接有两个纵向齿条(14),所述升降板(13)的下方设有转轴(15),所述转轴(15)的两端均通过轴承与升降板(13)内壁转动连接,所述转轴(15)的两端外侧均固定套设有一号齿轮(16)和二号齿轮(19),两个所述二号齿轮(19)位于两个一号齿轮(16)之间,所述检测箱(11)的一侧侧壁设有取放槽(17),所述检测箱(11)的两个相对内壁且位于转轴(15)的下方均螺丝固定有横板(18);所述抽拉机构(2)包括滑槽(21)、水平板(22)、横向齿条(23)、上封板(24)、上拉手(25)、限位块(26)、检测板(27)、芯片槽(28)和夹取槽(29),所述水平板(22)贯穿取放槽(17)设置,所述水平板(22)的一侧固定连接有上封板(24),所述上封板(24)远离水平板(22)的一侧固定连接有两个上拉手(25),所述水平板(22)的另外两个相对侧壁上均固定连接有横向齿条(23),所述水平板(22)远离上封板(24)一端的下侧固定连接有两个滑槽(21),所述水平板(22)的上侧固定连接有八个限位块(26),八个所述限位块(26)之间设有检测板(27),所述检测板(27)上侧开设有若干芯片槽(28),所述芯片槽(28)的两个相对槽壁上均开设有夹取槽(29);所述拾取机构(4)包括滑板(41)、安装板(42)、电磁铁(43)、缓冲弹簧(44)、固定杆(45)、磁铁环(46)、拉簧(47)、推板(48)、凹槽(49)、固定板(410)、夹杆(411)、凸块(412)和连接杆(413),所述滑板(41)螺丝固定在升降板(13)的下侧,所述滑板(41)上嵌设有安装板(42),所述安装板(42)的上侧面与升降板(13)的下侧面之间固定连接有缓冲弹簧(44),所述安装板(42)的上侧且位于缓冲弹簧(44)内螺丝固定有电磁铁(43),所述安装板(42)的下侧固定连接有固定杆(45),所述固定杆(45)的底端固定连接有固定板(410),所述固定板(410)的两端均通过转销转动连接有夹杆(411),所述固定杆(45)的外侧套设有推板(48),所述推板(48)的上侧固定连接有磁铁环(46),所述磁铁环(46)的上侧面与安装板(42)的下侧面之间固定连接有拉簧(47),所述推板(48)的两侧对称开设有两个凹槽(49),所述凹槽(49)内铰接有连接杆(413),所述连接杆(413)的底端均与相邻夹杆(411)的顶端铰接,所述夹杆(411)的底端固定连接有凸块(412);两个所述纵向齿条(14)分别与两个一号齿轮(16)啮合连接,所述升降板(13)与四个限位条(12)滑动连接,所述纵向齿条(14)和横向齿条(23)相互垂直设置;两个所述横向齿条(23)分别与两个二号齿轮(19)啮合连接,两个所述滑槽(21)分别与两个横板(18)滑动连接;所述电磁铁(43)与磁铁环(46)相对一侧的磁性相同,所述拉簧(47)和磁铁环(46)均套设在固定杆(45)的外侧,所述固定板(410)的下侧嵌设有若干接电触头。
2.根据权利要求1所述的一种芯片检测治具的取放芯片操作装置,其特征在于,所述存储机构(3)包括滑轨(31)、卡条(32)、存料框(33)、下封板(34)、下拉手(35)和拾取槽(36),所述拾取槽(36)开设在检测箱(11)的一侧侧壁,所述存料框(33)贯穿拾取槽(36)设置,所述存料框(33)的一侧固定连接有下封板(34),所述下封板(34)远离存料框(33)的一侧固定连接有两个下拉手(35),所述存料框(33)的另外两个相对侧壁上均固定连接有卡条(32),所述存料框(33)两侧的检测箱(11)内壁上均螺丝固定有滑轨(31),两个所述滑轨(31)分别与两个卡条(32)滑动连接,所述拾取槽(36)位于取放槽(17)的下方。
3.根据权利要求1所述的一种芯片检测治具的取放芯片操作装置,其特征在于,所述安装板(42)的一侧设有“T”形滑块,所述滑板(41)上开设有与安装板(42)上“T”形滑块滑动连接的“T”形滑槽,所述滑板(41)在升降板(13)下侧呈矩阵状分布。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造