[发明专利]溶解臭氧去除单元、包括该溶解臭氧去除单元的基板处理装置以及基板处理方法

权利要求书

1. 一种用于去除包含在处理液中的溶解臭氧的溶解臭氧去除单元，所述溶解臭氧去除单元包括：

流体通道提供构件，所述流体通道提供构件具有供所述处理液通过的流体通道；以及

光源构件，所述光源构件被安装在所述流体通道提供构件中，并且被构造为向所述处理液供应紫外线，

其中，所述流体通道提供构件包括：

螺旋流体通道，所述螺旋流体通道被构造为使得所述处理液在围绕所述光源构件螺旋移动的同时暴露于所述紫外线，

其中，所述流体通道提供构件还包括：

壳体，所述壳体包括被构造为围绕所述光源构件的内圆筒以及同轴地设置在所述内圆筒外部的外圆筒，使得所述螺旋流体通道被设置在所述内圆筒和所述外圆筒之间，

其中，所述壳体还包括安装在所述外圆筒和所述内圆筒之间的螺旋叶片，并且

其中，通过将所述螺旋叶片的外径表面气密地联接到所述外圆筒的内径表面，并且将所述螺旋叶片的内径表面气密地联接到所述内圆筒的外径表面来形成所述螺旋流体通道。

2.根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述光源构件可拆卸地安装在位于所述流体通道提供构件的中间的接收空间中，从而不与所述处理液直接接触。

3. 根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述螺旋流体通道包括形成在所述内圆筒的外径表面上的螺旋槽或形成在所述外圆筒的内径表面上的螺旋槽。

4.根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体在其一端处敞开，以便连接到所述内圆筒的接收空间，并且

其中，所述光源构件包括灯管，所述灯管通过所述壳体的敞开的一端位于所述内圆筒的所述接收空间中。

5.根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体由紫外线透射材料形成。

6. 根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体还包括：

入口端口，所述入口端口在垂直于所述外圆筒的长度方向的方向上被设置在所述壳体的一端处，其中，通过所述入口端口从外部将所述处理液引入所述螺旋流体通道；以及

出口端口，所述出口端口在垂直于所述外圆筒的长度方向的方向上被设置在所述壳体的相对端，其中，已去除所述溶解臭氧的所述处理液通过所述出口端口从所述螺旋流体通道排出。

7.根据权利要求6所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体在其上侧还包括排气管，通过所述排气管从所述螺旋流体通道释放已去除臭氧的气体。

8.根据权利要求7所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述溶解臭氧去除单元还包括气体分解构件，所述气体分解构件与所述排气管连接并且被构造为分解所述臭氧气体。

9.根据权利要求6所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体被设置在垂直位置，使得所述壳体的所述入口端口所在的所述一端指向上部方向。

10. 根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体被设置在水平位置。

11.根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述壳体包括至少两个彼此堆叠的壳体，并且

其中，所述流体通道提供构件提供了串联的流体通道结构，在所述流体通道结构中，至少两个壳体中的被设置在较高位置处的壳体的出口端口与被设置在较低位置处的壳体的入口端口连接。

12.根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述光源构件包括灯管，所述灯管具有一个封闭的端部和气密地联接至后盖的相对的端部，并且

其中，所述流体通道提供构件还包括螺旋地缠绕在所述灯管周围以提供所述螺旋流体通道的管，所述管由紫外线透射材料形成。

13.根据权利要求1所述的溶解臭氧去除单元，其中，所述光源构件包括一个或多个紫外线灯。