[发明专利]显示背板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201911307985.1 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN111048527B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 黎飞;曹惠敏;魏悦;邹富伟;邓伟;潘康观;邓雷;张震 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 尹璐 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 背板 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种显示背板,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底上限定有膜上芯片区;
栅极,所述栅极设置在所述衬底的一侧;
绝缘层,所述绝缘层设置在所述栅极远离所述衬底的一侧,且在所述膜上芯片区内具有第一开口;
第一数据线,所述第一数据线覆盖所述绝缘层,且通过所述第一开口与所述栅极接触;
钝化层,所述钝化层覆盖所述第一数据线;
第二数据线,所述第二数据线设置在所述钝化层远离所述衬底的一侧,且具有第二开口,并且,所述第一开口在所述衬底上的正投影落入所述第二开口在所述衬底上的正投影之内。
2.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述第二数据线包括层叠设置的第一亚层、第二亚层和第三亚层,其中,形成所述第一亚层和所述第三亚层的材料包括钛,形成所述第二亚层的材料包括铝。
3.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述第一开口的深度为1~3微米,且所述第一开口的坡度角为65°~75°。
4.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,进一步包括:
第一有机层,所述第一有机层设置在所述第二开口中且与所述第二数据线接触,并且环绕所述第一开口设置。
5.根据权利要求4所述的显示背板,其特征在于,所述第一有机层的厚度与所述第二数据线的厚度相同。
6.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述钝化层具有第三开口,且所述第二数据线通过所述第三开口与所述第一数据线接触,并且,所述第三开口在所述衬底上的正投影与所述第一开口在所述衬底上的正投影不重叠。
7.一种制作显示背板的方法,其特征在于,包括:
在衬底的一侧形成栅极;
在所述栅极远离所述衬底的一侧形成绝缘层,且所述绝缘层在所述衬底的膜上芯片区内具有第一开口;
在所述绝缘层远离所述衬底的一侧形成第一数据线,且所述第一数据线通过所述第一开口与所述栅极接触;
在所述第一数据线远离所述衬底的一侧形成钝化层;
在所述钝化层远离所述衬底的一侧形成第二数据线,且所述第二数据线具有第二开口,并且,所述第一开口在所述衬底上的正投影落入所述第二开口在所述衬底上的正投影之内。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,形成所述第二数据线的步骤包括:
在所述钝化层远离所述衬底的一侧依次沉积第一亚层、第二亚层和第三亚层,其中,形成所述第一亚层和所述第三亚层的材料包括钛,形成所述第二亚层的材料包括铝;
对所述第一亚层、第二亚层和第三亚层进行图案化处理,以形成所述第二开口。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,进一步包括:
在所述第二开口中形成第一有机层,其中,所述第一有机层与所述第二数据线接触,且环绕所述第一开口。
10.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1~6中任一项所述的显示背板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的