[发明专利]溅射后的陶瓷基板电镀吊具及其装夹方法在审
| 申请号： | 201911313392.6 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110820033A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王殿;魏红军;郝鹏飞;魏宇翔 | 申请（专利权）人： | 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所） |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D21/00 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 陶瓷 电镀 及其 方法 | ||
1.一种溅射后的陶瓷基板电镀吊具，包括吊具板（1）和溅射后的陶瓷基板（12），在溅射后的陶瓷基板（12）上设置有导电点，在吊具板（1）上设置有陶瓷基板嵌入通孔（2），在吊具板（1）的顶端设置有导电钛轴吊杆（3），其特征在于，在导电钛轴吊杆（3）的顶端固定设置有长方形导电连接片（4），在吊具板（1）中预埋有十字形导电带（5），十字形导电带（5）的上端与导电钛轴吊杆（3）电连接在一起，在吊具板（1）的板面上设置有聚丙烯帽钛螺钉孔（6），聚丙烯帽钛螺钉孔（6）与十字形导电带（5）连接在一起，在PP帽钛螺钉孔（6）中螺接有聚丙烯帽钛螺钉（7），在聚丙烯帽钛螺钉（7）与吊具板（1）的板面之间穿接有弹性导电探针（8），在陶瓷基板嵌入通孔（2）中嵌入有溅射后的陶瓷基板（12），弹性导电探针（8）的针尖顶接在溅射后的陶瓷基板（12）上的导电点上。
2.根据权利要求1所述的一种溅射后的陶瓷基板电镀吊具，其特征在于，在陶瓷基板嵌入通孔（2）内设置有基板嵌入台阶（9），陶瓷基板嵌入通孔（2）是以十字形导电带（5）为对称轴对称设置的；吊具板（1）是通过导电钛轴吊杆（3）吊接在电渡槽（11）中的电镀极杆（10）上的，导电钛轴吊杆（3）的顶端固定设置的长方形导电连接片（4）与电镀极杆（10）靠接在一起。
3.如权利要求1所述的一种溅射后的陶瓷基板电镀吊具的装夹方法，包括以下步骤：
第一步、将溅射后的陶瓷基板（12）嵌入到陶瓷基板嵌入通孔（2）内，使陶瓷基板（12）靠接在基板嵌入台阶（9）上；
第二步、将聚丙烯帽钛螺钉（7）穿过弹性导电探针（8）的尾部通孔（13）后连接到聚丙烯帽钛螺钉孔（6）中，调整旋转弹性导电探针（8），使弹性导电探针（8）的针尖与溅射后的陶瓷基板（12）上的导电点连接在一起，然后，旋紧聚丙烯帽钛螺钉（7），使弹性导电探针（8）顶紧溅射后的陶瓷基板（12）；
第三步、将装夹好溅射后的陶瓷基板（12）的吊具板（1）放置到电渡槽（11）中，并使导电钛轴吊杆（3）的顶端固定设置的长方形导电连接片（4）与电镀极杆（10）靠接在一起。
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