[发明专利]振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：

基部；振动臂，其从所述基部起延伸；以及施重膜，其设置于所述振动臂，具有沿所述振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，

在所述施重膜形成有加工痕，该加工痕是在所述施重膜的一部分中将所述施重膜沿所述振动臂的厚度方向减薄或去除而成的，

所述加工痕具有沿所述振动臂的延伸方向排列的第1加工端部和第2加工端部，

至少所述第1加工端部在所述振动臂的延伸方向上与所述施重膜的所述一对施重膜端部中的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，

所述第1加工端部的沿所述振动臂的宽度方向的宽度比所述第2加工端部的沿所述振动臂的宽度方向的宽度小，其中，所述振动臂的宽度方向是与所述振动臂的延伸方向和所述振动臂的厚度方向垂直的方向。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述一对施重膜端部具有：第1施重膜端部；第2施重膜端部，其以所述基部为基准，位于比所述第1施重膜端部靠近所述基部的位置，在俯视时所述第1加工端部与所述第1施重膜端部重叠。

3.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述一对施重膜端部具有：第1施重膜端部；第2施重膜端部，其以所述基部为基准，位于比所述第1施重膜端部靠近所述基部的位置，在俯视时所述第1加工端部与所述第2施重膜端部重叠。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的振动元件，其特征在于，

在俯视时，所述第2加工端部与所述一对施重膜端部中的任何一个都不重叠。

5.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述加工痕形成为矩形形状。

6.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

具有如下这样的关系：所述第1加工端部的宽度(H1)为所述第2加工端部的宽度(H2)的32％以上且96％以下。

7.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

具有如下这样的关系：所述第1加工端部的宽度(H1)为所述第2加工端部的宽度(H2)的80％以上且88％以下。

8.一种振动元件的制造方法，该振动元件具有：基部；振动臂，其从所述基部起延伸；施重膜，其设置于所述振动臂，具有沿所述振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，其特征在于，

在所述施重膜形成加工痕，该加工痕是在所述施重膜的一部分中将所述施重膜沿所述振动臂的厚度方向减薄或去除而成的，所形成的所述加工痕具有沿所述振动臂的延伸方向排列的第1加工端部和第2加工端部，至少所述第1加工端部在所述振动臂的延伸方向上与所述施重膜的所述一对施重膜端部中的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，所述第1加工端部的沿所述振动臂的宽度方向的宽度比所述第2加工端部的沿所述振动臂的宽度方向的宽度小，其中，所述振动臂的宽度方向是与所述振动臂的延伸方向和所述振动臂的厚度方向垂直的方向。

9.根据权利要求8所述的振动元件的制造方法，其特征在于，

所述一对施重膜端部具有：第1施重膜端部；第2施重膜端部，其以所述基部为基准，位于比所述第1施重膜端部靠近所述基部的位置，在俯视时，所述第1加工端部与所述第1施重膜端部重叠。

10.根据权利要求8所述的振动元件的制造方法，其特征在于，

所述一对施重膜端部具有：第1施重膜端部；第2施重膜端部，其以所述基部为基准，位于比所述第1施重膜端部靠近所述基部的位置，在俯视时，所述第1加工端部与所述第2施重膜端部重叠。

11.根据权利要求8至10中的任意一项所述的振动元件的制造方法，其特征在于，

在俯视时，所述第2加工端部与所述一对施重膜端部中的任何一个都不重叠。