[发明专利]振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体

说明书

提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够抑制因施重膜上的加工位置偏差而导致的频率变化量相对于加工量的变动而产生的调整精度的下降。施重膜设置于振动元件的驱动振动臂，具有沿振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，在施重膜形成有沿振动臂的厚度方向被减薄或去除而成的加工痕。加工痕具有在振动臂的延伸方向上排列的第1加工端部和第2加工端部，第1加工端部在振动臂的延伸方向上与施重膜的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，第1加工端部的宽度比第2加工端部的宽度小。

技术领域

本发明涉及振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体。

背景技术

以往公知有使用压电振子、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)振子等振动元件对角速度、加速度等物理量进行检测的物理量检测装置。

作为这样的物理量检测装置的一例，例如在专利文献1中公开了一种振动型陀螺仪，该振动型陀螺仪具有压电振动片，该压电振动片具有：基部；连结臂，其从基部起延伸；多个驱动振动臂，它们从连结臂的前端部起延伸；以及多个检测振动臂，它们从基部起延伸。当这样的振动型陀螺仪在使驱动振动臂弯曲振动的状态下受到规定方向的角速度时，对驱动振动臂作用科里奥利力，与此相伴地，检测振动臂弯曲振动。通过检测这样的检测振动臂的弯曲振动，能够检测角速度。

另外，在专利文献1所记载的振动型陀螺仪中，记载了在振动元件的振动臂的前端部形成频率调整用的施重膜，通过对该施重膜照射激光或离子束等而将施重膜去除，使振动元件的谐振频率发生变化，从而进行频率的调整。在该方法中，预先预测谐振频率相对于施重膜的去除量的变化量即调整速率，基于调整到作为目标的频率时的频率变化量，根据调整速率来计算去除量，将与该去除量对应的施重膜去除而进行频率调整。

专利文献1：日本特开2017-203692号公报

但是，在通过施重膜的去除来调整振动元件的频率的情况下，由于安装振动元件时的位置出现偏差、离子束频率调整装置或激光照射装置等频率调整装置的加工位置出现偏差，使施重膜上的去除位置出现偏差，由此，调整速率发生变动。因此，存在如下的问题：即使根据与频率变化到目标频率的变化量相对应地预先计算出的施重膜去除量将施重膜去除，也达不到准确的目标频率，在该情况下再次进行施重膜的去除等，在调整上花费时间。

发明内容

本申请的振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，其从所述基部起延伸；以及施重膜，其设置于所述振动臂，具有沿所述振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，在所述施重膜形成有加工痕，该加工痕是在所述施重膜的一部分中将所述施重膜沿所述振动臂的厚度方向减薄或去除而成的，所述加工痕具有沿所述振动臂的延伸方向排列的第1加工端部和第2加工端部，至少所述第1加工端部在所述振动臂的延伸方向上与所述施重膜的所述一对施重膜端部中的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，所述第1加工端部的沿所述振动臂的宽度方向的宽度比所述第2加工端部的沿所述振动臂的宽度方向的宽度小，其中，所述振动臂的宽度方向是与所述振动臂的延伸方向和所述振动臂的厚度方向垂直的方向。

上述振动元件优选为，所述一对施重膜端部具有：第1施重膜端部；以及第2施重膜端部，其以所述基部为基准，位于比所述第1施重膜端部靠近所述基部的位置，在俯视时所述第1加工端部与所述第1施重膜端部重叠。

上述振动元件优选为，所述一对施重膜端部具有：第1施重膜端部；以及第2施重膜端部，其以所述基部为基准，位于比所述第1施重膜端部靠近所述基部的位置，在俯视时所述第1加工端部与所述第2施重膜端部重叠。

上述振动元件优选为，在俯视时所述第2加工端部与所述一对施重膜端部中的任何一个都不重叠，换言之，所述第2加工端部位于形成有所述施重膜的区域内。

上述振动元件优选为，所述加工痕形成为矩形形状。