[发明专利]一种多路分时共同电沉积装置

权利要求书

1.一种多路分时共同电沉积装置，其特征在于：包括电解槽(1)、电解液（2）、稳压电源（3）、开关（4）、阳极板（5）、阴极板（6）和时间控制系统（7）；所述的阴极板（6）包括绝缘基体、以及形成于绝缘基体表面的若干互相绝缘的导电层；所述时间控制系统（7）通过导线与所述阴极板（6）的若干互相绝缘的导电层分别相连；所述时间控制系统（7）用于控制各个导电层开始进行电沉积和按照设定顺序停止进行电沉积；所述绝缘基体为玻璃基体（8）；所述导电层为形成于玻璃基体（8）之上的铟锡氧化物导电层（9）；通过除去铟锡氧化物导电层（9）中的一部分而形成相互绝缘的若干块导电层；稳压电源（3）的正极通过导线与阳极板（5）连接，稳压电源（3）的负极通过导线与开关（4）相连；开关（4）通过信号线与时间控制系统（7）的控制单元相连，开关（4）通过导线还与时间控制系统（7）的执行单元相连；时间控制系统（7）通过导线与阴极板（6）相连；所述的一种多路分时共同电沉积装置，能够在保证电沉积参数不变的情况下一次获得不同时刻的沉积层，从而发现电沉积过程中的缺陷，对于揭示电沉积初始阶段的微观过程有重要作用。

2.如权利要求1所述的多路分时共同电沉积装置，其特征在于，所述时间控制系统（7）包括上位机、控制单元、执行单元；上位机连接到控制单元，所述控制单元连接执行单元，所述执行单元与若干个导电层分别连接；控制单元设置与导电层数量相同的控制引脚，执行单元中设置与导电层数量相同的MOS管；每个控制引脚分别连接到相应的MOS管的G极，相应的MOS管的D极分别与各个导电层连接；所有MOS管的S极都连接到稳压电源（3）的负极。

3.如权利要求1所述的多路分时共同电沉积装置，其特征在于，所述的阴极板（6）的导电层包括第一区域（11）、第二区域（12）、第三区域（13）、第四区域（14）。

4.如权利要求2所述的多路分时共同电沉积装置，其特征在于，所述的控制单元包括单片机；控制单元可通过上位机下载不同的程序分别控制第一引脚、第二引脚、第三引脚、第四引脚置高电位或低电位。

5.如权利要求2所述的多路分时共同电沉积装置，其特征在于，所述的执行单元为四个单独动作的半导体场效应MOS管，分别为第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管，它们均包括栅极G、源极S和漏极D；控制单元的第一引脚、第二引脚、第三引脚、第四引脚通过导线分别与对应的第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管的栅极G连接；控制单元通过引脚输出高电位时，对应的MOS管闭合，控制单元通过引脚输出低电位时，对应的MOS管断开；第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管的源极S通过导线接入到稳压电源（3）的负极，第一MOS管、第二MOS管、第三MOS管、第四MOS管的漏极D通过导线分别接入到阴极板（6）的第一区域（11）、第二区域（12）、第三区域（13）、第四区域（14）。