[发明专利]一种多路分时共同电沉积装置

说明书

本发明公开了一种多路分时共同电沉积装置，包括电解槽(1)、电解液(2)、稳压电源(3)、开关(4)、阳极板(5)、阴极板(6)和时间控制系统(7)；所述的阴极板(6)包括绝缘基体、以及形成于绝缘基体表面的若干互相绝缘的导电层；所述时间控制系统(7)通过导线与所述阴极板(6)的若干互相绝缘的导电层分别相连；所述时间控制系统(7)用于控制各个导电层开始进行电沉积和按照设定顺序停止进行电沉积；本发明的多路分时共同电沉积装置，可在保证电沉积参数不变的情况下一次获得不同时刻的沉积层，从而发现电沉积过程中的缺陷，以改进参数提高产品质量。

技术领域

本发明涉及一种电沉积装置，具体涉及一种多路分时共同电沉积装置。

背景技术

材料的磨损、腐蚀、氧化等一般都是从表面开始的，它们带来的破坏和损失是十分惊人的，所以通过电沉积方法对金属材料表面改性以提高其性能是非常有必要的。而又由于电沉积一般是在不透明的溶液中进行，其沉积过程中的变化很难被观测，沉积过程中存在的缺陷很难被发现，对沉积层的检测与表征仅局限于外层。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

发明内容

本发明解决的技术问题是，提供一种多路分时共同电沉积装置，以期望在保证电沉积参数不变的情况下一次获得不同时刻的沉积层，从而发现沉积过程中的缺陷，提高产品质量；并且该装置可以得到连续的电沉积初始时刻的沉积形貌，可用于观测沉积过程中的变化，对揭示电沉积规律和完善现有的电沉积理论有重要作用。

一种多路分时共同电沉积装置，包括电解槽(1)、电解液(2)、稳压电源(3)、开关(4)、阳极板(5)、阴极板(6)和时间控制系统(7)；所述的阴极板(6)包括绝缘基体、以及形成于绝缘基体表面的若干互相绝缘的导电层；所述时间控制系统(7)通过导线与所述阴极板(6)的若干互相绝缘的导电层分别相连；所述时间控制系统(7)用于控制各个导电层开始进行电沉积和按照设定顺序停止进行电沉积。

所述的多路分时共同电沉积装置，所述绝缘基体为玻璃基体(8)；所述导电层为形成于玻璃基体(8)之上的铟锡氧化物导电层(9)；通过除去铟锡氧化物导电层(9)中的一部分而形成相互绝缘的若干块导电层。

所述的多路分时共同电沉积装置，稳压电源(3)的正极通过导线与阳极板(5)连接，稳压电源(5)的负极通过导线与开关(4)相连；开关(4)通过信号线与时间控制系统(7)的控制单元相连，开关(4)通过导线还与时间控制系统(7)的执行单元相连；时间控制系统(7)通过导线与导电玻璃阴极板(6)相连。

所述的多路分时共同电沉积装置，所述时间控制系统(7)包括上位机、控制单元、执行单元；上位机连接到控制单元，所述控制单元连接执行单元，所述执行单元与若干个导电层分别连接；控制单元设置与导电层数量相同的控制引脚，执行单元中设置与导电层数量相同的MOS管；每个控制引脚分别连接到相应的MOS管的G极，相应的MOS管的D极分别与各个导电层连接；所有MOS管的S极都连接到可调直接稳压电源(3)的负极。

所述的多路分时共同电沉积装置，所述的导电玻璃阴极板(6)的导电层包括第一区域(11)、第二区域(12)、第三区域(13)、第四区域(14)。

所述的多路分时共同电沉积装置，所述的控制单元包括单片机；控制单元可通过上位机下载不同的程序分别控制第一引脚、第二引脚、第三引脚、第四引脚置高电位或低电位。