[发明专利]电子元件作业机构及其应用的作业设备在审
申请号: | 201911316977.3 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN113013051A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 刘哲瑜 | 申请(专利权)人: | 鸿劲精密股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 李林 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子元件 作业 机构 及其 应用 设备 | ||
1.一种电子元件作业机构,是在移动臂与作业具之间装配调整器,其特征在于,该调整器包含:
承载单元:装配于该移动臂与该作业具之间,并设有复数个承载具;
调整单元:是在该复数个承载具之间设有相互配合的滑接部件及接配部件,并于该滑接部件设有具弧型曲线的导移部,还设有至少一调控具,以驱控该滑接部件或至少一该承载具作动,使该调整器带动该作业具作至少一方向弧度摆动调整作业角度。
2.根据权利要求1所述的电子元件作业机构,其特征在于,该承载单元包含第一承载具及第二承载具,该第一承载具装配于该移动臂,该第二承载具装配于该第一承载具,并连结该作业具,该调整单元是在该第一承载具与该第二承载具之间装配具有第一导移部的第一滑接部件及第一接配部件,还在该第一承载具与该第二承载具之间设有第一调控具,以驱动该第一滑接部件及该作业具作第二方向弧度摆动调整作业角度。
3.根据权利要求2所述的电子元件作业机构,其特征在于,该调整单元是在该第一承载具与该第一滑接部件之间设置相互配合的第二接配部件及第二导移部。
4.根据权利要求2所述的电子元件作业机构,其特征在于,该调整单元是在该第一承载具与该第二承载具之间设有第一弹簧。
5.根据权利要求2所述的电子元件作业机构,其特征在于,该承载单元设置第三承载具及第四承载具,该第三承载具装配于该第二承载具,该第四承载具装配于该第三承载具的下方,并连结该作业具,该调整单元是在该第三承载具与该第四承载具之间装配具有第三导移部的第二滑接部件及第三接配部件,还在该第三承载具与该第四承载具之间设有第二调控具,以驱动该第四承载具及该作业具作第一方向弧度摆动调整作业角度。
6.根据权利要求5所述的电子元件作业机构,其特征在于,该调整单元是在该第四承载具与该第二滑接部件之间设置相互配合的第四接配部件及第四导移部。
7.根据权利要求5所述的电子元件作业机构,其特征在于,该调整单元是在该第三承载具与该第四承载具之间设有第二弹簧。
8.根据权利要求5或6所述的电子元件作业机构,其特征在于,该调整单元是在该第三承载具设有轴杆,该轴杆穿置于该第二承载具,还在该第二承载具与该第三承载具之间设有第三调控具,以驱动该第三承载具及该作业具作水平方向弧度摆动调整作业角度。
9.根据权利要求8所述的电子元件作业机构,其特征在于,该调整单元是在该第二承载具与该第三承载具之间设有第三弹簧。
10.一种应用电子元件作业机构的作业设备,其特征在于,包含:
机台;
供料装置:配置于该机台,并设有至少一供料承置器,以承置待作业的电子元件;
输送装置:配置于该机台,并设有至少一移料器,以移载待作业的电子元件;
至少一如权利要求1所述的电子元件作业机构:配置于该机台,并设有移动臂、作业具及调整器,该调整器包含承载单元及调整单元,以对电子元件执行预设作业,并使该作业具作至少一方向弧度摆动调整作业角度;
中央控制装置:用以控制及整合各装置、机构作动,以执行自动化作业。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造