[发明专利](甲基)丙烯酸酯化合物、聚合物、抗蚀剂材料及(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法

权利要求书

1.一种(甲基)丙烯酸酯化合物，是由下述通式(1)所表示；

式中，R¹为氢或甲基，R²为氢、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基，R³为氢、卤素、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或者一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基或杂芳基，键结于同一碳上的两个R³的碳彼此可键结而形成环。

2.根据权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯化合物，其中

所述通式(1)中，R¹和/或R²为氢或甲基，键结于同一碳上的两个R³的碳彼此不键结时的R³为氢、氯、甲基、乙基、苯基、4-羟基苯基、4-氨基苯基、4-甲氧基苯基、4-吡啶基环己基或4-羟基环己基，键结于同一碳上的两个R³的碳彼此键结而形成环时的环是将所述同一碳作为螺原子的环戊基或环己基。

3.一种(甲基)丙烯酸酯化合物的聚合物，含有下述通式(1a)所表示的重复单元，

重量平均分子量为2,000～100,000；

式中，R¹为氢或甲基，R²为氢、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基，R³为氢、卤素、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或者一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基或杂芳基，键结于同一碳上的两个R³的碳彼此可键结而形成环。

4.根据权利要求3所述的聚合物，其中

所述重复单元的摩尔分率至少为5％。

5.一种抗蚀剂材料，包含：

如权利要求3所述的聚合物；

酸产生剂；以及

有机溶剂。

6.一种抗蚀剂材料，包含：

如权利要求4所述的聚合物；

酸产生剂；以及

有机溶剂。

7.一种(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法，是根据权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法，包括

将下述通式(2)所表示的3-羟基-环丁烷-1-酮酯化的步骤；

式中，R²为氢、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基，R³为氢、卤素、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或者一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基或杂芳基，键结于同一碳上的两个R³的碳彼此可键结而形成环。

8.一种(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法，是根据权利要求2所述的(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法，包括

将下述通式(2)所表示的3-羟基-环丁烷-1-酮酯化的步骤；

式中，R²为氢、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基，R³为氢、卤素、可具有分支的碳数1～6的饱和烷基、可具有分支的碳数2～6的不饱和烷基、或者一个以上的氢可经氧代基、羟基、氨基、氰基、甲氧基、硫醇基或卤素取代的碳数3～6的饱和或不饱和环状烃基或杂芳基，键结于同一碳上的两个R³的碳彼此可键结而形成环。