[发明专利]无尘室净化系统

权利要求书

1.一种无尘室净化系统，其对设于建筑物内的无尘室进行净化，该无尘室净化系统的特征在于，

该无尘室净化系统具备：

空调装置；

多孔扩散膜，其设于所述无尘室的内部；

供气管道，其从所述空调装置的吹出口到达所述多孔扩散膜；以及

回气管道，其从所述无尘室的地面到达所述空调装置的吸入口，

所述空调装置具备箱体、设于该箱体内的送风机、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管、以及设于所述箱体内的过滤器，

利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述多孔扩散膜供给。

2.根据权利要求1所述的无尘室净化系统，其特征在于，

所述无尘室被分为标准区域和空气清洁度比该标准区域高的高清洁度区域，

所述多孔扩散膜设于该高清洁度区域的顶棚部分，

在所述标准区域与所述高清洁度区域的交界设有使所述标准区域和所述高清洁度区域连通的连通口。

3.一种无尘室净化系统，其对设于建筑物内的无尘室进行净化，该无尘室净化系统的特征在于，

该无尘室净化系统具备：

空调装置；

多孔扩散膜，其设于所述无尘室的内部；

供气管道，其从所述空调装置的吹出口到达所述无尘室的内部；

带风扇的干盘管单元，其设于所述无尘室的内部，调整温度并且向所述多孔扩散膜输送空气；以及

回气管道，其从所述无尘室的地面到达所述带风扇的干盘管单元的吸入口，

所述空调装置具备箱体、设于该箱体内的送风机、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管、以及设于所述箱体内的过滤器，

利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述无尘室的内部供给。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的无尘室净化系统，其特征在于，

从所述多孔扩散膜吹出的空气的流速小于被向所述无尘室的地面吸入的空气的流速。