[发明专利]无尘室净化系统

说明书

提供能确保顶棚高度较高且在地震时也能防止顶棚材料落下的无尘室净化系统。无尘室净化系统(1)对设于建筑物内的无尘室(2)进行净化。无尘室净化系统(1)具备空调装置(10)；多孔扩散膜(20)，其设于无尘室(2)的内部；供气管道(30)，其从空调装置(10)的吹出口(12)到达多孔扩散膜(20)；以及回气管道(40)，其从无尘室(2)的地面(3)到达空调装置(10)的吸入口(11)。空调装置(10)具备箱体(13)、设于箱体(13)内的送风机(14)、设于箱体(13)内且调整温度和湿度的盘管(16)、以及设于箱体(13)内的中间过滤器(15)和HEPA过滤器(17)。驱动空调装置，将高清洁度空气经由供气管道(30)向多孔扩散膜(20)供给。

技术领域

本发明涉及一种用于净化在建筑物内设置的无尘室的无尘室净化系统。

背景技术

以往进行这样的操作：在无尘室内部设置铝制且格子状的顶棚(铝格栅顶棚)，将FFU(Fan Filter Unit：风机过滤器机组)支承于该顶棚地配置(参照专利文献1～3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－293864号公报

专利文献2：日本特开2012－149787号公报

专利文献3：日本特开2012－202558号公报

发明内容

发明要解决的问题

在以往的无尘室中，由于需要在无尘室内部设置顶棚，因此存在无尘室的顶棚高度降低这样的问题。有可能因地震时的摆动导致顶棚材料落下。

本发明的目的在于提供一种能够确保顶棚高度较高且在地震时也能够防止顶棚材料落下的无尘室净化系统。

用于解决问题的方案

技术方案1所述的无尘室净化系统(例如后述的无尘室净化系统1、1B)对设于建筑物内的无尘室(例如后述的无尘室2、2B)进行净化，该无尘室净化系统的特征在于，该无尘室净化系统具备：空调装置(例如后述的空调装置10)；多孔扩散膜(例如后述的多孔扩散膜20、20B)，其设于所述无尘室的内部；供气管道(例如后述的供气管道30)，其从所述空调装置的吹出口(例如后述的吹出口12)到达所述多孔扩散膜；以及回气管道(例如后述的回气管道40、40B)，其从所述无尘室的地面(例如后述的地面3)到达所述空调装置的吸入口(例如后述的吸入口11)，所述空调装置具备箱体(例如后述的箱体13)、设于该箱体内的送风机(例如后述的送风机14)、设于所述箱体内且调整温度和湿度的盘管(例如后述的盘管16)、以及设于所述箱体内的过滤器(例如后述的中间过滤器15、HEPA过滤器17)，利用所述空调装置将通过了所述过滤器的高清洁度空气经由所述供气管道向所述多孔扩散膜供给。

多孔扩散膜是多孔性的膜，其使供给到内部的空气降低流速并使其慢慢地(一点点地)流出到外部而扩散。

根据本发明，通过使从多孔扩散膜流出的高清洁度的空气充满无尘室内，从而能够由高清洁度空气填满配置于无尘室内的生产设备的周围。

此外，由于不像以往那样在无尘室内部设置FFU，因此不必设置顶棚，不仅能够确保顶棚高度较高，而且变为较短的工期。此外，由于不设置顶棚，因此在地震时不会出现顶棚材料落下的情况。