[发明专利]气体流通装置、退火炉以及对太阳能电池进行退火的方法

权利要求书

1.一种气体流通装置，适于向太阳能电池硅片提供用于退火的气体，所述气体流通装置包括：

第一端部，设置有适于接收用于退火的气体的进气口；

与所述第一端部相邻的第二端部；以及

弯曲管状主体，位于所述第一端部与所述第二端部之间，所述弯曲管状主体上间隔地设置有多个出气口，所述多个出气口适于将所述用于退火的气体传递至将被退火的所述太阳能电池硅片的表面，

其中所述弯曲管状主体包括：

与所述第一端部连接的第一部分，所述第一部分上间隔地设置有多个出气口；

与所述第二端部连接的第二部分，所述第二部分上间隔地设置有对应的多个出气口，所述第二部分上设置的多个出气口中的每个出气口与所述第一部分上设置的多个出气口中的每个出气口分别相邻设置，相邻设置的每对出气口均可以实现氧气的共享；以及

弯曲连接部分，设置在所述第一部分和所述第二部分之间，并且与所述第一部分和所述第二部分流体连通。

2.根据权利要求1所述的气体流通装置，其中所述第一部分与所述第二部分并行延伸。

3.根据权利要求1所述的气体流通装置，其中所述第一部分与所述第二部分均为直管。

4.根据权利要求1所述的气体流通装置，其中弯曲管状主体的内径在6到18毫米之间，并且其中所述多个出气口的直径在1到3毫米之间。

5.根据权利要求1所述的气体流通装置，其中所述第二端部设置有排气口或者被封闭。

6.一种退火炉，包括：

腔体，适于容纳将被退火的太阳能电池硅片；以及

根据权利要求1至5中任一项所述的气体流通装置，至少部分地被容纳在所述腔体中，使得所述多个出气口朝向所述太阳能电池硅片。

7.根据权利要求6所述的退火炉，还包括：

气体供应装置，被耦合至所述进气口以供应所述用于退火的气体。

8.一种用于对太阳能电池进行退火的方法，包括：

将太阳能电池硅片放入退火炉的腔体内；

经由至少部分地设置在所述腔体内的根据权利要求1-5中的任一项所述的气体流通装置向所述太阳能电池硅片传递用于退火的气体，以持续预定时间段；以及

将经退火的所述太阳能电池硅片从所述腔体中移出。