[发明专利]一种LYSO晶片的制造保护方法在审
申请号: | 201911326459.X | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN111113703A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 武志龙;汪新伟;丁言国;叶崇志 | 申请(专利权)人: | 上海新漫晶体材料科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B24B1/00;B24B37/08;B24B29/02;B24B41/00 |
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地址: | 201821 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 lyso 晶片 制造 保护 方法 | ||
1.一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,包括以下的步骤:
步骤S10:晶片第1面和第2面粘接固定:先将切割后尺寸为长为46.5mm-46.6mm,高为18.6mm-18.8mm,宽为2.9mm-2.92mm;单晶片的第1面和第2面研磨抛光,将经过第一次研磨抛光的晶片第1面和第2面用UV紫外固化胶在紫外装置下粘接,然后以10片一批次沿第1面和第2面将单晶片粘接固定,最外两侧粘接一型保护片,得到晶体群;
步骤S20:晶片第1面和第2面研磨抛光:将步骤S10中得到的晶片群,在双面研磨机粗研磨,研磨液为金刚砂,粗磨厚度至2.81mm;然后放置在精抛光机抛光,抛光液为CeO2,抛光尺寸至2.76mm±0.01mm;
步骤S30:晶片群第3面和第4面研磨抛光:将步骤S20中得到的晶片群翻转,再将晶片群第3面和第4面,在双面研磨机粗研磨,研磨液为金刚砂;然后放置在精抛光机抛光,抛光液为CeO2,抛光至高度为18.10mm±0.01mm;
步骤S40:晶体群二型保护片固定:将S30中得到的晶体群的最外侧晶片的第3面和第4面与二型保护片用UV紫外固化胶在紫外装置下粘接固定;
步骤S50:切割:将步骤S40中的晶体群用内圆切割机沿第3面和第4面切割加工,切削厚度2.9mm;得到切割后的小晶体群;
步骤S60:晶片群第5面和第6面研磨抛光:将步骤S50中得到的小晶体群的第5面和第6面进行研磨抛光,在双面研磨机粗研磨,研磨液为金刚砂;然后放置在精抛光机抛光,抛光液为CeO2,最终的小晶体群的尺寸:长度为18.1mm-18.11mm,高度为2.76-2.77mm,宽度为2.76mm-2.77mm;
步骤S70:保护片脱离:将一型保护片和二型保护片,经加热后与晶片脱离,然后酒精擦拭小晶体群,将紫外固化胶擦拭掉,得到最终的LYSO晶片。
2.如权利要求1中所述的一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,所述的一型保护片尺寸:长为46.5mm-46.6mm,高度为18.6mm-18.8mm;宽度为2mm-2.1mm;所述的二型保护片尺寸:长为46.5mm-46.6mm,高度为31.6mm-31.8mm,宽度为2mm-2.1mm。
3.如权利要求1中所述的一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,所述的步骤70中的加热温度为50℃-75℃。
4.如权利要求1中所述的一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,所述的紫外固化胶呈全透明状。
5.如权利要求2中所述的一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,所述的一型保护片和所述的二型保护片的材料为青玻璃。
6.如权利要求1中所述的一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,所述的紫外装置为UV固化机。
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