[发明专利]用于改进的热传递和温度均匀性的加热的基座设计

权利要求书

1.一种基座，所述基座包括：

主体，所述主体具有设置在所述主体中的加热器，其中所述主体包括：

图案化的表面，所述图案化的表面包括：

第一区域，所述第一区域具有从所述主体的基底表面延伸的第一多个柱；以及

第二区域，所述第二区域围绕所述第一区域，所述第二区域具有从所述基底表面延伸的第二多个柱，其中所述第一多个柱和所述第二多个柱中的每一者的上表面为基本上共面的并且限定基板接收表面，并且其中所述图案化的表面包括一个或多个裸位置。

2.根据权利要求1所述的基座，其中所述基底表面的平均表面粗糙度大于每个所述柱的所述上表面的平均表面粗糙度。

3.根据权利要求1所述的基座，其中所述第一多个柱中的每一者以第一高度从所述基底表面延伸，并且所述第二多个柱中的每一者以第二高度从所述基底表面延伸，所述第二高度不同于所述第一高度。

4.根据权利要求3所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的1.5倍。

5.根据权利要求3所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的2倍。

6.根据权利要求3所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的2.5倍。

7.根据权利要求3所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的3倍。

8.根据权利要求3所述的基座，所述基座还包括第三多个柱，所述第三多个柱以与所述第一高度和所述第二高度不同的高度从所述基底表面延伸。

9.根据权利要求1所述的基座，其中所述第一区域的表面积小于所述第二区域的表面积。

10.一种基座，所述基座包括：

主体，所述主体具有嵌入在所述主体中的加热器，所述主体包括：

图案化的表面，所述图案化的表面包括：

中心区域，所述中心区域具有第一多个柱，所述第一多个柱以第一高度从所述主体的基底表面延伸；以及

周边区域，所述周边区域围绕所述中心区域，所述周边区域具有第二多个柱，

所述第二多个柱以大于所述第一高度的第二高度从所述基底表面延伸。

11.根据权利要求10所述的基座，其中所述基底表面的平均表面粗糙度大于所述柱中的每一者的上表面的平均表面粗糙度。

12.根据权利要求10所述的基座，其中所述第一多个柱中的每一者定位在凸起表面上，并且所述第二多个柱中的每一者定位在凹陷表面上。

13.根据权利要求10所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的1.5倍。

14.根据权利要求10所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的2倍。

15.根据权利要求10所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的2.5倍。

16.根据权利要求10所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的3倍。

17.根据权利要求10所述的基座，其中所述第二高度是所述第一高度的3.5倍。

18.根据权利要求10所述的基座，其中所述中心区域的表面积小于所述周边区域的表面积。