[发明专利]用以制造面板的无尘系统及方法

说明书

一种用以制造面板的方法以及用以制造面板的无尘系统。所述方法包括数个操作。于一第一机台中在一基板上进行一第一操作。于一第二机台中在该基板上进行一第二操作。在该第一机台及该第二机台间输送该基板，其中该基板系在一微环境中由一面板载运装置输送。

技术领域

(相关申请案说明)本申请主张2018年12月28日提出的美国专利申请案No.16/235，737的优先权，此处将其整体纳入作为参照。

本揭示内容关于一种无尘系统以及利用其制造面板的方法。

背景技术

显示面板在消费性电子、娱乐、军事与其他领域的产品中有许多重要的应用。举例来说，光刻是对面板效能有重大影响的关键步骤。为了提供较高的解析度，面板的像素间距逐渐缩小，这使得制造环境中的微小粒子包括微米级粒子，都可能污染面板基板并导致面板瑕疵。因此，当面板基板暴露于微米级粒子下时，会使产率降低。

发明内容

由一态样观察，本揭示内容提供一种用以制造一面板的方法。所述方法包括数个步骤。于一第一机台中在一基板上进行一第一操作。于一第二机台中在该基板上进行一第二操作。在该第一机台及该第二机台间输送该基板，其中该基板系在一微环境中由一面板载运装置输送。

于本揭示内容一实施方式中，所述方法还包括：过滤器欲填充于所述微环境中的气体。

由另一态样观察，本揭示内容提供一种用于面板制造的无尘系统。所述无尘系统包括：一舱室、复数个机台、一空气泵及一过滤器。所述舱室界定一微环境。这些机台用于进行不同的制程操作，且各该机台有一装载埠连接于舱室的微环境。空气泵用以抽送气体进出微环境。过滤器位于微环境的气体入口，以过滤微环境中的气体。

由另一态样观察，本揭示内容提供一种用以制造一面板的无尘系统。所述无尘系统包括：复数个机台及一面板载运装置。这些机台用于进行不同的制程操作，且各该机台有一装载埠。面板载运装置输送在一微环境中于机台间输送一基板，其中面板载运装置包含一推车室、一气体循环系统及一过滤器。所述推车室在面板载运装置上界定出该微环境。所述气体循环系统用以抽送气体进出微环境。过滤器用以过滤微环境中的气体。

附图说明

图1的流程图绘示根据本揭示内容某些实施方式，用以制造面板的方法的多个步骤。

图2、3、4及5为根据本揭示内容不同实施方式，用以制造面板的无尘系统的概要图式。

图6为图5所示的无尘系统的一部分的剖面图。

图7为根据本揭示内容某些实施方式，用以制造面板的无尘系统的概要图式。

图8A、8B及8C为根据本揭示内容某些实施方式，由不同方向观察的面板载运装置的概要图式。

图9A、9B及9C为根据本揭示内容某些实施方式，由不同方向观察的面板载运装置的概要图式。

图10为根据本揭示内容某些实施方式的面板载运装置的概要图式。

图11A为根据本揭示内容某些实施方式的面板载运装置的概要图式。

图11B为根据本揭示内容某些实施方式，图11A所示的面板载运装置的气体循环的概要图式。

图12A、12B及12C为根据本揭示内容某些实施方式，连接至一机台的面板载运装置的一或多种操作的概要图式。

图13及14为根据本揭示内容不同实施方式，用以制造面板的无尘系统的概要图式。

图15为根据本揭示内容某些实施方式，由一机台输送基板的面板载运装置的一或多种操作的概要图式。

具体实施方式