[发明专利]一种蜂窝状球面栅网的制备工艺在审
申请号: | 201911335993.7 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN110931330A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 湛洪;王鹏康;刘鲁伟 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | H01J9/14 | 分类号: | H01J9/14;H01J9/16;H01J1/46 |
代理公司: | 芜湖金钥匙专利代理事务所(普通合伙) 34151 | 代理人: | 谢建华 |
地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蜂窝状 球面 制备 工艺 | ||
1.一种蜂窝状球面栅网的制备工艺,其特征在于:包括以下步骤:
S1:对钼制的平面栅网涂抹感光胶,进行曝光显影,对膜片进行刻蚀随后将感光胶去除制得蜂窝状平面栅网;
S2:对蜂窝状栅网浸入C2HCL3纯溶液进行去油处理;
S3:同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理;
S4:从炉中取出栅网与铜基座,迅速将栅网与铜基座装入工装,使用液压机按照4-5MPa/min的压制速度进行压制,保压30-60s后,缓慢减少液压机的压力,取出工装;
S5:将压有栅网的无氧铜放入C2HCL3纯溶液中进行去油处理,随后放入铬酸和硝酸的混合溶液当中对栅网进行刻蚀,将分开的栅网和无氧铜去除,进行干燥处理,取出蜂窝状球面栅网。
2.根据权利要求1所述的一种蜂窝状球面栅网的制备工艺,其特征在于:步骤S3中的无氧铜基座退火温度为500℃-800℃,保温25min-40min。
3.根据权利要求1所述的一种蜂窝状球面栅网的制备工艺,其特征在于:钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min升温速度,升温至800℃-900℃,保温30min-45min,冷却30min-60min。
4.一种蜂窝状球面栅网,其特征在于:包括底座,所述底座(7)上方设有无氧铜基座(1),所述无氧铜基座(1)上方定位块(2),所述定位块(2)上方中部可拆卸连接阳模(3),所述阳模(3)和所述定位块(2)中间设有限位块(5);
且所述定位块(2)通过螺钉(6)可拆卸连接所述底座(7),且所述无氧铜基座(1)上对应设有限位孔(11),多个所述螺钉(6)滑动连接所述限位孔(11);
所述定位块(2)下方设有栅网(8),所述阳模(3)挤压连接所述栅网(8)。
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