[发明专利]一种蜂窝状球面栅网的制备工艺

说明书

本发明提供一种蜂窝状球面栅网及其制备工艺，其步骤方法为：首先对钼制的平面栅网进行光刻，制备蜂窝状栅网，对进行清洗去油；随后同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理。无氧铜基座退火温度为500℃‑800℃，保温25min‑40min。钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min的升温速度，升温至800℃‑900℃，保温30min‑45min，随炉冷却；从炉中取出栅网与铜基座，迅速将栅网与铜基座装入工装，使用液压机按照4‑5MPa/min的压制速度进行压制，保压30‑60s后，缓慢减少液压机的压力，取出工装；对栅网进行刻蚀，制得蜂窝状球面栅网。

技术领域

本发明涉及栅网技术领域，主要涉及一种蜂窝状球面栅网的制备工艺。

背景技术

真空微波电子器件在军用电子装备中起着关键作用。微波管中电子枪的作用是使来自阴极的电子形成适于微波电路产生相互作用的电子注，为控制对注电流，大多是采用靠近阴极面的栅网来控制电流。蜂窝状球面栅是栅控电子枪中必不可少的一部分。

蜂窝状球面栅网的加工精度要求高，加工工艺复杂，成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种球面栅网的压制工装，提高球面栅网的成功率，防止栅丝的断裂。

本发明的另一目的在于提供一种蜂窝状球面栅网的制备工艺，该工艺意在降低球面栅网的制备难度，降低成本，提高球面栅网的生产率，该工艺方法简单，稳定性好。

本发明的球面栅网的制备工艺是：

a）对钼制的平面栅网涂抹感光胶，进行曝光显影，对膜片进行刻蚀随后将感光胶去除制得蜂窝状平面栅网；

b）对蜂窝状栅网浸入C₂HCL₃纯溶液进行去油处理；

c）同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理。

无氧铜基座退火温度为500℃-800℃，保温25min-40min。

钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min升温速度，升温至800℃-900℃，保温30min-45min，冷却30min-60min；

d）从炉中取出栅网与铜基座，迅速将栅网与铜基座装入工装，使用液压机按照（4-5）MPa/min的压制速度进行压制，保压（30-60）s后，缓慢减少液压机的压力，取出工装；

e）将压有栅网的无氧铜放入C₂HCL₃纯溶液中进行去油处理，随后放入铬酸和硝酸的混合溶液当中对栅网进行刻蚀，将分开的栅网和无氧铜去除，进行干燥处理，取出蜂窝状球面栅网。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理来实现蜂窝状球面栅网结构更为的稳定，同时利用该工艺使得加工精度更高，工艺更为的简单，成本更低。

附图说明

图1为本发明一种栅网压制工装具体实例结构示意图；

图2为压制后栅网结构图；

图3为压制后栅网局部放大图。

图中：1、无氧铜基座；11、限位孔；2、定位块；3、阳模；4、定位销钉；5限位块；6、螺钉；7、底座；8、栅网。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。