[发明专利]蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法

权利要求书

1.一种蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，包括：

反射部(6)；

连接件，被配置为将所述反射部(6)与蒸镀腔室连接；

摄像机构，包括摄像头(8)，所述摄像头(8)能够配合所述反射部(6)拍摄到蒸镀装置的所有部位。

2.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述连接件为具有至少一自由度的第一调控机构。

3.根据权利要求2所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述第一调控机构为具有两个自由度的调控机构，包括第一驱动结构(2)及固定在所述第一驱动结构(2)驱动端的第二驱动结构(4)，所述第一驱动结构(2)能够绕第一方向转动，所述第二驱动结构(4)能够绕第二方向转动，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述反射部(6)固定在所述第二驱动结构(4)的驱动端。

4.根据权利要求3所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述第一调控机构还包括中转台(3)和安装板(5)，所述中转台(3)固定在所述第一驱动结构(2)的驱动端，所述第二驱动结构(4)设置在所述中转台(3)上，所述安装板(5)固定在所述第二驱动结构(4)的驱动端，所述反射部(6)固定在所述安装板(5)上。

5.根据权利要求2所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述第一调控机构为万向转动机构，所述万向转动机构包括第三驱动结构和万向节，所述万向节转动连接在所述第三驱动结构的驱动端，所述反射部(6)固定在所述万向节上。

6.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述摄像机构还包括第二调控机构，所述摄像头(8)固定在所述第二调控机构的调控端。

7.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，所述摄像机构还包括隔离件(7)，所述隔离件(7)被配置为将所述摄像头(8)与蒸镀装置蒸镀出的金属蒸汽隔离。

8.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，还包括光源组件，所述光源组件被配置为对所述蒸镀腔室进行照明。

9.根据权利要求1所述的蒸镀腔室内的监视装置，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统包括监视模块、数据处理模块和执行模块；所述监视模块获取待测样品的位置，并将获取的位置信息传递给所述数据处理模块，所述数据处理模块根据获取的位置信息调取对应的调整参数，所述执行模块根据调整参数调整所述反射部(6)与所述摄像机构。

10.一种蒸镀机，其特征在于，包括蒸镀腔室、蒸镀装置以及如权利要求1-9任一项所述的蒸镀腔室内的监视装置，所述蒸镀装置及所述监视装置均设置在所述蒸镀腔室内。

11.根据权利要求10所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀装置包括多个加热机构、放料板(12)和样品台(9)，所述加热机构包括电源、正极(13)和负极(14)，所述放料板(12)两端分别固定在所述正极(13)和所述负极(14)上，所述放料板(12)为导电材质，所述放料板(12)被配置为放置待蒸镀的金属，所述样品台(9)设置在所述加热机构的上方，待蒸镀的样品放置在所述样品台(9)上。

12.一种利用如权利要求1-9任一项所述的蒸镀腔室内的监视装置对蒸镀机的蒸镀腔室进行监视的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100：控制系统获得待观察位置的指令信息；

S200：控制系统调取反射部(6)和摄像机构对应于指令信息所需要调整的状态参数组合；

S300：控制系统控制连接件和/或摄像机构分别调整反射部(6)和/或摄像机构至指定状态。