[发明专利]蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法

说明书

本发明公开了一种蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法，属于金属蒸镀技术领域。本发明提供的蒸镀腔室内的监视装置，包括反射部、连接件和摄像机构，连接件被配置为将反射部与蒸镀腔室连接，摄像机构包括摄像头，摄像头能够配合反射部拍摄到蒸镀装置的所有部位。本发明实现了摄像头在蒸镀腔室内对蒸镀装置进行全方位拍摄。

技术领域

本发明涉及金属蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀腔室内的监视装置、使用该监视装置的蒸镀机及使用该监视装置进行监视的方法。

背景技术

为了监视实验用蒸镀机腔体内部情况，除了设置观察窗外，摄像头的设置可以更好的观察蒸镀过程中各种情况，但实验用蒸镀机中有机材料与金属在同一个腔体里蒸镀，金属蒸镀在镜头上会污染镜头，同时高温蒸镀对摄像头传感器也有影响。

因此，亟需提供一种蒸镀腔室内的监视装置及蒸镀机，以解决摄像头在蒸镀过程中被蒸镀的金属污染镜头的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀腔室内的监视装置、蒸镀机及监视方法，以实现摄像头在蒸镀腔室内对蒸镀装置进行全方位拍摄，且避免被蒸镀金属污染镜头。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

本发明提供了一种蒸镀腔室内的监视装置，包括：

反射部；

连接件，被配置为将所述反射部与蒸镀腔室连接；

摄像机构，包括摄像头，所述摄像头能够配合所述反射部拍摄到蒸镀装置的所有部位。

进一步地，所述连接件为具有至少一自由度的第一调控机构。

进一步地，所述第一调控机构为具有两个自由度的调控机构，包括第一驱动结构及固定在所述第一驱动结构驱动端的第二驱动结构，所述第一驱动结构能够绕第一方向转动，所述第二驱动结构能够绕第二方向转动，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述反射部固定在所述第二驱动结构的驱动端。

进一步地，所述第一调控机构还包括中转台和安装板，所述中转台固定在所述第一驱动结构的驱动端，所述第二驱动结构设置在所述中转台上，所述安装板固定在所述第二驱动结构的驱动端，所述反射部固定在所述安装板上。

进一步地，所述第一调控机构为万向转动机构，所述万向转动机构包括第三驱动结构和万向节，所述万向节转动连接在所述第三驱动结构的驱动端，所述反射部固定在所述万向节上。

进一步地，所述摄像机构还包括第二调控机构，所述摄像头固定在所述第二调控结构的调控端。

进一步地，所述摄像机构还包括隔离件，所述隔离件被配置为将所述摄像机构的摄像头与蒸镀装置蒸镀出的金属蒸汽隔离。

进一步地，所述蒸镀腔室内的监视装置还包括光源组件，所述光源组件被配置为对所述蒸镀腔室进行照明。

进一步地，所述蒸镀腔室内的监视装置还包括控制系统，所述控制系统包括监视模块、数据处理模块和执行模块；所述监视模块获取待测样品的位置，并将获取的位置信息传递给所述数据处理模块，所述数据处理模块根据获取的位置信息调取对应的调整参数，所述执行模块根据调整参数调整所述反射部与所述摄像机构。

本发明还提供了一种蒸镀机，包括蒸镀腔室、蒸镀装置以及上述任一项技术方案所述的蒸镀腔室内的监视装置，所述蒸镀装置及所述监视装置均设置在所述蒸镀腔室内。

进一步地，所述蒸镀装置包括多个加热机构、放料板和样品台，所述加热机构包括电源、正极和负极，所述放料板两端分别固定在所述正极和所述负极上，所述放料板为导电材质，所述放料板被配置为放置待蒸镀的金属，所述样品台设置在所述加热机构的上方，待蒸镀的样品放置在所述样品台上。