[发明专利]一种纳米银线导电膜及其作为触控传感器电极层的制作方法

权利要求书

1.一种触控传感器电极层的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、设置纳米银线导电膜，所述纳米银线导电膜是在透明衬底上依次设置有第一OC光阻剂层、纳米银线导电层、第二OC光阻剂层和离型膜；利用所述的纳米银线导电膜，以离型膜朝上，使用触控传感器电极层所需的掩膜版进行曝光，曝光波长为340～380nm、能量为100～300mJ/cm²、时间30～60s；

所述第一OC光阻剂层和所述第二OC光阻剂层所用OC光阻剂溶液的配方体系包括如下质量百分比的各原料：

所述溶剂是由丁酮、乙酸乙酯和乙二醇按质量比1:1:1混合而成；

步骤2、将曝光后的纳米银线导电膜撕离离型膜后，在浓度为0.6-1.5mol/L的KOH显影液中浸泡1～3min，使非曝光区域的第一OC光阻剂层和第二OC光阻剂层同时被显影洗掉，对应区域的中间纳米银线导电层失去支撑同时被洗掉；

步骤3、显影后，对纳米银线导电膜进行清洗、烘干，曝光区域的第一OC光阻剂层、纳米银线导电层和第二OC光阻剂层被保留，形成电极图案化的纳米银线导电膜，用于触控传感器电极层；

步骤4、对电极图案化的纳米银线导电膜进行后烘和/或在氮气保护下进行UV固化，以进一步提高第一OC光阻剂层和第二OC光阻剂层的保护功能，即完成处理。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：第一OC光阻剂层的厚度为1.0-1.5μm，所述纳米银线导电层的厚度为100-300nm，所述第二OC光阻剂层的厚度为1.5-2.5μm。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：步骤4中，所述后烘是在120～200℃下烘烤5min。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：步骤4中，所述UV固化是以800～1200mJ/cm²的能量固化5-7min。