[发明专利]静电吸盘

权利要求书

1.一种静电吸盘，具备：

基座板；

及陶瓷电解质基板，被设置在所述基座板之上，平面形状呈大致圆形，具有露出于外部的第1主面，其特征在于，

所述第1主面至少包含第1区域、与所述第1区域邻接的第2区域，

在所述第1区域中，设置有多个第1槽、与所述多个第1槽的至少1个连接的至少1个第1气体导入孔、在与所述多个第1槽交叉的方向上延伸的至少1个第2槽，

所述多个第1槽的各自的平面形状呈大致圆形，且被同心设置，

所述第2槽与至少2个所述第1槽连接，

在投影到垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电解质基板的第1方向的平面时，在连接所述第1槽和所述第2槽的部分上，所述第1气体导入孔的至少一部分与所述第1槽及所述第2槽的至少任一重叠。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，在所述第1区域中至少设置有2个所述第2槽。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，

在所述第2区域中，还设置有：

多个第3槽；

至少1个第2气体导入孔，与所述多个第3槽的至少1个连接；

及至少1个第4槽，在与所述多个第3槽交叉的方向上延伸，与至少2个所述第3槽连接，

所述多个第3槽的各自的平面形状呈大致圆形，且以所述多个第1槽的中心为中心而被同心设置，

在投影到垂直于所述第1方向的平面时，在连接所述第3槽和所述第4槽的部分上，所述第2气体导入孔的至少一部分与所述第3槽及所述第4槽的至少任一重叠。

4.根据权利要求3所述的静电吸盘，其特征在于，在所述第2区域中至少设置有2个所述第4槽。

5.根据权利要求3所述的静电吸盘，其特征在于，

相对于所述第1主面的中心，所述第2区域被设置在所述第1区域的外侧，

在投影到垂直于所述第1方向的平面时，在所述第1区域中，在连接位于最外侧的所述第1槽和所述第2槽的部分上，所述第1气体导入孔的至少一部分与所述位于最外侧的第1槽及所述第2槽的至少任一重叠，在所述第2区域中，在连接位于最内侧的所述第3槽和所述第4槽的部分上，所述第2气体导入孔的至少一部分与所述位于最内侧的第3槽及所述第4槽的至少任一重叠。

6.根据权利要求3所述的静电吸盘，其特征在于，连接所述第1气体导入孔的中心和所述第2气体导入孔的中心的线与所述第1区域和所述第2区域之间的第1边界所呈的角度小于90°。

7.根据权利要求3所述的静电吸盘，其特征在于，连接所述第1气体导入孔的中心和所述第2气体导入孔的中心的线与所述第1区域和所述第2区域之间的第1边界所呈的角度为90°。

8.根据权利要求7所述的静电吸盘，其特征在于，

还具备设置在所述第1区域中的提升销孔，

所述提升销孔与所述位于最外侧的第1槽之间的距离比所述提升销孔与所述多个第1槽之中除所述位于最外侧的第1槽以外的且最靠近所述提升销孔的所述第1槽之间的距离更大。