[发明专利]离线快速检测测试设置准确性的方法

权利要求书

1.一种离线快速检测测试设置准确性的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1)、读取承载待测晶圆的设备进行测试的测试参数信息，根据所选用的不同型号承载待测晶圆的设备的文件生成格式，从测试参数信息中抓取各字段编码后面跟着的与走步相关的信息，包含site分布、走步以及初始坐标，site分布为同时测试的集成电路在晶圆上的位置信息；

2)、生成虚拟晶圆分布图，对步骤1)读取信息，进行整理并生成一份虚拟的晶圆分布图，包括所有待测晶圆的集成电路位置分布；

3)、测试工程师根据测试机类型，配置允许的同时测试的集成电路个数，给同时测试的多个集成电路设定排列规则，按此规则将并测的多个集成电路分组，形成每次测试的site分布，也就是每次的测试走步信息，形成测试工程师编译的prober config；

4)、离线验证，将步骤3)中读取的每次测试走步信息，映射到到步骤2)生成的虚拟晶圆分布图上，以步骤1)的走步信息为准，从初始坐标开始，进行虚拟测试，验证测试工程师编译的prober config中每次测试信息的准确性。