[发明专利]含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机

权利要求书

1.一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，

包括有马兰戈尼式的晶圆清洗干燥整机本体以及喷气装置。

2.根据权利要求1所述的一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，喷气装置

包括导向槽（1）（1）（1）（1）、一端封闭的内喷管（2）、外喷管（3）、进气阀体（4）、用于驱动内喷管（2）绕其中心轴线转动的第一电机（5）及用于驱动外喷管（3）沿导向槽（1）长度方向滑动的第二电机（6），所述内喷管（2）活动插入外喷管（3）内，所述内喷管（2）外壁的两端分别与外喷管（3）内壁的两端密封配合，所述外喷管（3）滑动插入导向槽（1）内，所述内喷管（2）的管壁沿其长度方向开设有一排内喷气孔，所述外喷管（3）的管壁沿其长度方向开设有一排外喷气孔，所述内喷管（2）的长度大于外喷管（3）的长度，所述进气阀体（4）设于外喷管（3）远离内喷管（2）的封闭端的一端上；

所述进气阀体（4）包括进气管座（41）、浮动截流片（42）、固定截流盘（43）和复位弹簧（44），所述进气管座（41）具有进气嘴（411），所述进气管座（41）内朝向外喷管（3）凸设有圆锥台（412），所述圆锥台（412）的外壁与进气管座（41）的内壁之间形成有进气间隙（45），所述进气管座（41）设有使进气嘴（411）与进气间隙（45）连通的进气通道（46），所述浮动截流片（42）具有一体成型的盘体和轴体，所述轴体的一端连接在盘体的中部，所述圆锥台（412）设有中心盲孔，所述轴体的另一端伸入中心盲孔内，所述复位弹簧（44）设于中心盲孔内，所述复位弹簧（44）的两端分别与轴体和圆锥台（412）抵靠，所述固定截流盘（43）设于内喷管（2）内，所述浮动截流片（42）的盘体在复位弹簧（44）的作用下保持抵靠在固定截流盘（43）上，所述固定截流盘（43）和浮动截流片（42）的盘体上均间隔设有用于使进气间隙（45）与内喷管（2）内连通的进气阀孔（47），所述进气管座（41）的内径大于或等于内喷管（2）的外径，所述圆锥台（412）在外喷管（3）的带动下可突伸入或移出内喷管（2）内。

3.根据权利要求2所述的一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，所述内喷管（2）内壁靠近进气阀体（4）的一端设有用于与圆锥台（412）的锥面配合的内锥面。

4.根据权利要求1所述的一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，所述内喷管（2）内壁设有用于容置固定截流盘（43）的台阶，所述固定截流盘（43）置于台阶上，所述固定截流盘（43）的外周壁与内喷管（2）内壁抵靠，所述固定截流盘（43）的一侧抵靠在台阶上，所述固定截流盘（43）的另一侧与浮动截流片（42）抵靠。

5.根据权利要求1所述的一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，所述浮动截流片（42）的轴体设有容置孔，所述复位弹簧（44）的一端伸入容置孔内。

6.根据权利要求1所述的一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，所述第一电机（5）通过第一支架固定连接在导向槽（1）远离进气阀体（4）的一端上，所述第一电机（5）的输出端通过齿轮组（7）带动内喷管（2）转动。

7.根据权利要求1所述的一种含口构型可变喷气装置的晶圆清洗干燥整机，其特征在于，所述外喷管（3）的外侧固定有螺母（31），所述导向槽（1）对应螺母（31）设有用于为螺母（31）移动提供空间的活动窗口，所述第二电机（6）通过第二支架固定在导向槽（1）上，所述第二支架转动设置有丝杆（8），所述螺母（31）凸出活动窗口后螺纹连接在丝杆（8）上，所述第二电机（6）的输出端与丝杆（8）的一端传动连接。