[发明专利]一种新型5寸掩模版贴膜工具在审

专利信息
申请号: 201911347730.8 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN111025843A 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 薛文卿;华卫群;季书凤;杨长华;张月圆 申请(专利权)人: 无锡中微掩模电子有限公司
主分类号: G03F1/62 分类号: G03F1/62;G03F7/20
代理公司: 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 谷金颖
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 模版 工具
【权利要求书】:

1.一种新型5寸掩模版贴膜工具,其特征在于,包括中央镂空的主体支架(1)、定位兼导向块(2)和压力杆(3),所述定位兼导向块(2)分布于中央镂空的主体支架(1)的四周,所述压力杆(3)设置在主体支架(1)四角上,分别与5寸掩模版四个角位置对应。

2.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具,其特征在于,在左右两个定位兼导向块(2)上设置有把手(4)。

3.如权利要求1一种新型5寸掩模版贴膜工具,其特征在于,所述定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。

4.如权利要求1一种新型5寸掩模版贴膜工具,其特征在于,所述定位兼导向块(2)的内层镀镍,外层镀塑料。

5.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具,压力杆(4)采用PMMA材质,和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。

6.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具,压力杆(4)长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和。

7.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具,5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸。

8.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具,所述定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。

9.一种新型5寸掩模版贴膜工具的贴膜方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、把贴膜工具放置工作台中央;

S2、对贴膜工具进行清洁和放置在顺手位置,准备后续操作;

S3、把掩模版保护膜平整地放置在贴膜支座上;

S4、把掩模版保护膜上的粘合带保护薄膜轻轻撕开;

S5、把需要粘贴保护膜的掩模版轻轻放置在保护膜架上;

S6、检查掩模版平整放置在保护膜架上;

S7、轻轻拿起新型5寸掩模版贴膜工具,使得定位兼导向块慢慢套在贴膜支座上;

S8、然后,双手同时用力慢慢按压,使掩模版和保护膜粘合在一起;

S9、把新型5寸掩模版贴膜工具放回原来位置,取出已经贴好保护膜的掩模版,立即放置在保护料盒中。

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