[发明专利]一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法

权利要求书

1.一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法，其特征在于，提供固定架、工装固定板、定心卡盘、承载线圈的圆环形的线圈定位板、承载线圈定位板的若干线圈定位柱；若干线圈定位柱沿线圈定位板周向均匀排列，且线圈定位柱的顶部穿过线圈定位板且通过螺栓调整高度及固定；工装固定板用以安装在下腔室顶部的圆形凹槽配合，工装固定板的两端卡在圆形凹槽的内侧，工装固定板中心与圆形凹槽同心；所述定心卡盘上设有至少三根沿定心卡盘周向均匀排列且平行的向上延伸的基准柱，每个基准柱到定心卡盘的中心轴线距离相同；

固定架上设有供线圈定位柱安装的唯一的固定安装位；

将下腔室装在固定架上，将工装固定板通过下腔室顶部的圆形凹槽实现定位，再安装线圈定位柱、线圈定位板及线圈，此时线圈定位板与线圈定位柱之间相互未锁紧；通过定心卡盘锁紧基准柱并使三根基准柱到下腔室中心的距离一致，这时通过测量基准柱与线圈的距离调整线圈的位置，使线圈内壁到任一基准柱的最短距离相等使线圈中心与下腔室中心重合，即线圈与热场同心，这时将线圈定位板与线圈定位柱相互固定；将线圈定位柱从固定架上拆开，将线圈定位柱、线圈定位板及线圈一体拆下，然后安装管体及上炉体；再将线圈定位柱、线圈定位板及线圈一体安装到固定架上，使线圈定位柱安装在固定安装位上，待线圈与线圈升降机构相互连接后将线圈定位柱拆卸掉，线圈完成定位。

2.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，线圈升降机构位于线圈的侧面。

3.根据权利要求1或2所述的定位方法，其特征在于，所述线圈定位柱为三个。

4.根据权利要求1或2所述的定位方法，其特征在于，所述线圈定位柱的上端穿过线圈定位板，且线圈定位柱的上端具有螺纹，线圈定位板与线圈定位柱通过螺母连接。

5.根据权利要求1或2所述的定位方法，其特征在于，线圈定位板向上延伸有若干安装柱，线圈通过螺栓安装在安装柱的内侧。