[发明专利]一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法

说明书

本发明公开了一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法，提供固定架、工装固定板、定心卡盘、承载线圈的圆环形的线圈定位板、承载线圈定位板的若干线圈定位柱；将下腔室装在固定架上，将工装固定板通过下腔室顶部的圆形凹槽实现定位，再安装线圈定位柱、线圈定位板及线圈，通过定心卡盘锁紧基准柱并使三根基准柱到下腔室中心的距离一致，这时通过测量基准柱与线圈的距离调整线圈的位置，使线圈内壁到任一基准柱的距离相等使线圈中心与下腔室中心重合，即线圈与热场同心，即在线圈调整到与热场同心位置后将线圈拆卸掉安装石英管后通过本发明可精确找到同心位置。

技术领域

本发明属于碳化硅长晶炉技术领域，尤其涉及碳化硅长晶炉中电磁线圈的装配。

背景技术

如图1所示，现有技术中的碳化硅长晶炉中，包括热场1’、围绕热场1’的石英管体2’、围绕石英管体2’的电磁线圈3’、承载热场的下腔室4’。该下腔室4’顶端具有圆形的凹槽与热场1’配合，热场1’通过圆形凹槽与下腔室安装，热场1’与圆形凹槽同心。但是，该结构中无法实现电磁线圈3’与热场1’调同心后再装配双石英管体2’。装配顺序为先装热场1’、再装石英管体2’、最后装配电磁线圈3’，所以无法通过调整电磁线圈3’与热场1’直接调同心，只能通过调整电磁线圈3’与石英管体2’同心，间接保证电磁线圈3’与热场1’同心。但是，由于石英管体2’加工误差较大，以石英管体2’作为定位基准会造成电磁线圈3’与热场1’同心误差较大，从而造成长晶质量不稳定对批量生产产生不良影响。

故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。

发明内容

为解决上述问题，本发明公开了一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法，解决如何使电磁线圈与热场同心的问题。

为达到上述目的，本发明提供采用如下技术方案：

一种碳化硅长晶炉电磁线圈定位方法，其特征在于，提供固定架、工装固定板、定心卡盘、承载线圈的圆环形的线圈定位板、承载线圈定位板的若干线圈定位柱；若干线圈定位柱沿线圈定位板周向均匀排列，且线圈定位柱的顶部穿过线圈定位板且通过螺栓调整高度及固定；工装固定板用以安装在下腔室顶部的圆形凹槽配合，工装固定板的两端卡在圆形凹槽的内侧，工装固定板中心与圆形凹槽同心；所述定心卡盘上设有至少三根沿定心卡盘周向均匀排列且平行的向上延伸的基准柱，每个基准柱到定心卡盘的中心轴线距离相同；固定架上设有供线圈定位柱安装的唯一的固定安装位；

将下腔室装在固定架上，将工装固定板通过下腔室顶部的圆形凹槽实现定位，再安装线圈定位柱、线圈定位板及线圈，此时线圈定位板与线圈定位柱之间相互未锁紧；通过定心卡盘锁紧基准柱并使三根基准柱到下腔室中心的距离一致，这时通过测量基准柱与线圈的距离调整线圈的位置，使线圈内壁到任一基准柱的距离相等使线圈中心与下腔室中心重合，即线圈与热场同心，这时将线圈定位板与线圈定位柱相互固定；将线圈定位柱从固定架上拆开，将线圈定位柱、线圈定位板及线圈一体拆下，然后安装管体及上炉体；再将线圈定位柱、线圈定位板及线圈一体安装到固定架上，使线圈定位柱安装在固定安装位上，待线圈与线圈升降机构相互连接后将线圈定位柱拆卸掉，线圈完成定位。

进一步的，线圈升降机构位于线圈的侧面。

进一步的，所述线圈定位柱为三个。

进一步的，所述线圈定位柱的上端穿过线圈定位板，且线圈定位柱的上端具有螺纹，线圈定位板与线圈定位柱通过螺母连接。

进一步的，线圈定位板向上延伸有若干安装柱，线圈通过螺栓安装在安装柱的内侧。

相对于现有技术，本发明可具有以下有益效果：

本发明可实现线圈的精准定位，即在线圈调整到与热场同心位置后将线圈拆卸掉安装石英管后通过本发明可精确找到同心位置。

附图说明

图1是现有技术中碳化硅长晶炉的剖视示意图。