[发明专利]一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法

权利要求书

1.一种眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：采用眼球追踪感测器的线路结构，所述眼球追踪感测器的线路结构包括镜片基材(1)、红外LED灯(2)、连接线路(3)、种子层(4)和保护层(5)，所述镜片基材(1)上表面固定铺设有种子层(4)，所述种子层(4)上表面固定铺设有连接线路(3)，所述连接线路(3)端部的上表面与红外LED灯(2)下端的引脚固定连接，所述连接线路(3)中部的外表面与种子层(4)的侧面均覆盖有保护层(5)，所述连接线路(3)为若干条交错的铜线(31)组成的网状结构，单条铜线(31)的宽度为0.1um-20um；

所述加工方法包括以下步骤：

步骤一：利用真空磁控溅射机将金属原子溅射嵌入镜片基材(1)的表面形成种子层(4)；

步骤二：在种子层(4)上不需要进行铺设连接线路(3)的地方铺设阻挡层(6)；

步骤三：在阻挡层(6)之间的间隙内进行长铜，形成铜线(31)；

步骤四：去除阻挡层(6)；

步骤五：对镜片基材(1)的表面进行纳米微蚀刻，直至铜线(31)之间的种子层(4)完全被蚀刻；

步骤六：在留下的种子层(4)和连接线路(3)的外表面进行黑化处理，形成保护层(5)。

2.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述红外LED灯(2)呈左右对称分布，所述连接线路(3)沿着镜片基材(1)的边缘圆周分布。

3.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述连接线路(3)为方格形网状结构。

4.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述连接线路(3)为放射形网状结构，发射中心为红外LED灯(2)所在位置。

5.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述连接线路(3)为发散的扇形网状结构，发散中心为红外LED灯(2)所在位置。

6.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述步骤二中铺设阻挡层(6)的具体步骤为：先配做一个遮光膜，遮光膜上开有与连接线路(3)线路形状一致的透光孔，然后在种子层(4)上表面涂覆一层光致抗蚀剂，将遮光膜放置在光致抗蚀剂上，接着利用紫外光透过透光孔对光致抗蚀剂进行曝光，曝光的区域发生化学反应，再然后进行显影去除曝光区域的光致抗蚀剂，此时种子层(4)上不需要进行铺设连接线路(3)的地方残留的光致抗蚀剂就形成了阻挡层(6)。

7.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于，所述步骤三中长铜的具体操作为：将镜片基材(1)连上阴极，并将镜片基材(1)上表面浸泡在充满铜离子的溶剂中，铜离子沉积在阻挡层(6)之间，在种子层(4)上方和阻挡层(6)之间形成铜线(31)。