[发明专利]一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法有效

专利信息
申请号: 201911354273.5 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111007665B 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 蔡水河 申请(专利权)人: 常州欣盛半导体技术股份有限公司
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00;G06F3/01
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 赵旭
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 眼球 追踪 感测器 线路 结构 及其 加工 方法
【说明书】:

发明提供了一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法,包括镜片基材、红外LED灯、连接线路、种子层和保护层,所述镜片基材上表面固定铺设有种子层,所述种子层上表面固定铺设有连接线路,所述连接线路端部的上表面与红外LED灯下端的引脚固定连接,所述连接线路中部的外表面与种子层的侧面均覆盖有保护层。本发明通过在镜片基材的上表面设置一层种子层,并将红外LED灯和连接线路通过种子层附着在镜片基材上,大幅度提升了红外LED灯、连接线路和镜片基材的连接强度,避免了红外LED灯和连接线路脱落,提高了使用寿命。

技术领域

本发明涉及眼球追踪器技术领域,尤其涉及眼球追踪感测器的线路结构技术领域。

背景技术

眼球跟踪器是一种可以追踪用户眼球的活动并受其控制的技术,眼球跟踪器的工作原理是:眼球追踪器的采集模块放置在镜片上,用户戴上后,向用户发出不可见的红外光,然后利用两个内置照相机搜寻捕获用户眼球的闪烁以及眼网膜的反射,以达到追踪眼球的效果。

如图6所示,是现有技术中的一种眼球追踪器的线路结构,各个LED灯之间通过同一条直径较宽的线进行连接,该技术方案存在以下缺陷:线宽度过宽,用户佩戴后会影响用户视线,由于采用单线连接,日常使用时经常用手触摸,容易造成某一点发生断开之后整个眼球追踪器损坏;线的下表面直接与基材压合或粘接,不牢固,线的上表面容易被氧化腐蚀,使用寿命低。

发明内容

为克服现有技术中存在的线宽度过宽,用户佩戴后会影响用户视线,由于采用单线连接,日常使用时经常用手触摸,容易造成某一点发生断开之后整个眼球追踪器损坏;线的下表面直接与基材压合或粘接,不牢固,线的上表面容易被氧化腐蚀,使用寿命低的问题,本发明提供了一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法。

本发明通过以下技术方案实现上述目的:一种眼球追踪感测器的线路结构,包括镜片基材、红外LED灯、连接线路、种子层和保护层,所述镜片基材上表面固定铺设有种子层,所述种子层上表面固定铺设有连接线路,所述连接线路端部的上表面与红外LED灯下端的引脚固定连接,所述连接线路中部的外表面与种子层的侧面均覆盖有保护层。

在此基础上,所述连接线路为若干条交错的铜线组成的网状结构,单条铜线的宽度为0.1um-20um。

在此基础上,所述红外LED灯呈左右对称分布,所述连接线路沿着镜片基材的边缘圆周分布。

在此基础上,所述连接线路为方格形网状结构。

在此基础上,所述连接线路为放射形网状结构,发射中心为红外LED灯所在位置。

在此基础上,所述连接线路为发散的扇形网状结构,发散中心为红外LED灯所在位置。

在此基础上,一种眼球追踪感测器的线路结构的加工方法,包括以下步骤:步骤一:利用真空磁控溅射机将金属原子溅射嵌入镜片基材的表面形成种子层;步骤二:在种子层上不需要进行铺设连接线路的地方铺设阻挡层;步骤三:在阻挡层之间的间隙内进行长铜,形成铜线;步骤四:去除阻挡层;步骤五:对镜片基材的表面进行纳米微蚀刻,直至铜线之间的种子层完全被蚀刻;步骤六:在留下的种子层和连接线路的外表面进行化锡处理,形成保护层。

在此基础上,所述步骤二中铺设阻挡层的具体步骤为:先配做一个遮光膜,遮光膜上开有与连接线路线路形状一致的透光孔,然后在种子层上表面涂覆一层光致抗蚀剂,将遮光膜放置在光致抗蚀剂上,接着利用紫外光透过透光孔对光致抗蚀剂进行曝光,曝光的区域发生化学反应,再然后进行显影去除曝光区域的光致抗蚀剂,此时种子层上不需要进行铺设连接线路的地方残留的光致抗蚀剂就形成了阻挡层。

在此基础上,所述步骤三中长铜的具体操作为:将镜片基材连上阴极,并将镜片基材上表面浸泡在充满铜离子的溶剂中,铜离子沉积在阻挡层之间,在种子层上方和阻挡层之间形成铜线。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

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