[发明专利]一种提升P型双面电池双面率的背膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911359230.6 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN110957378A 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 胡茂界;丁晨;陈刚 申请(专利权)人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/048;H01L31/068;H01L31/18
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 金丽英
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 提升 双面 电池 及其 制备 方法
【说明书】:

发明公开一种提升P型双面电池双面率的背膜结构,包括电池片,电池片的背面依次沉积有氧化铝膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜、氧化硅膜,氮化硅膜包括上层氮化硅膜、中层氮化硅膜、下层氮化硅膜,上、中、下三层氮化硅膜的厚度逐渐升高,折射率逐渐降低,氮化硅膜的总膜厚为35至55纳米,氮化硅膜的总折射率为2.12至2.20,通过本发明改进背面膜层结构以及优化镀膜工艺,有效的降低电池片背面的反射率,增加光的吸收,提升P型双面SE PERC电池的背面转换效率,P型双面SE PERC电池的双面率由72.9%提至74.14%,显著提高了产品的质量。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其是一种提升P型双面电池双面率的背膜及其制备方法。

背景技术

目前,随着环境问题和能源问题得到越来越多人的关注,太阳能电池作为一种清洁能源,人们对其研究开发利用已经进入到了一个新的阶段。为了降低晶硅成本,适应竞争激烈的光伏产业,晶硅电池厚度越来越薄,因为晶体硅是间隙带材料,光吸收系数小,由透射光引起的损失会随着硅片厚度的减小而增大,所以在晶硅日益减薄的今天,基于较薄晶硅的高效电池技术是各大企业与高校机构的研究重点。目前主要研究热点有HIT电池、WMT电池、N型双面电池、P型SE PERC电池等,其中P型SE PERC电池因其工艺相对成熟,量产难度低,已成为市场主流电池技术。

双面SE PERC太阳电池正、背面均可受光发电,其背面可收集10%-30%的太阳光,每W组件发电量可增加20%,每W度电成本可降低7%-10%。由于双面PERC技术与现有PERC产线的兼容性较高,适合大规模量产,是后PERC时代降本增效的热门技术。

因此改进背面膜层结构以及优化镀膜工艺,降低电池片背面的反射率,增加光的吸收,提升P型双面SE PERC电池的背面转换效率, 提高P型双面SE PERC电池的双面率,是目前行业所关注的重点。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:传统技术电池片背面的反射率低的问题。

本发明解决该技术问题采用的技术方案是:

一种提升P型双面电池双面率的背膜结构,包括电池片,所述电池片的背面依次沉积有氧化铝膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜、氧化硅膜,其特征在于:

所述氮化硅膜包括上层氮化硅膜、中层氮化硅膜、下层氮化硅膜,所述上层氮化硅膜的厚度小于所述中层氮化硅膜的厚度,所述中层氮化硅膜的厚度小于所述下层氮化硅膜的厚度,所述上层氮化硅膜的折射率大于所述中层氮化硅膜的折射率,所述中层氮化硅膜的折射率大于所述下层氮化硅膜的折射率,所述上层氮化硅膜、所述中层氮化硅膜、所述下层氮化硅膜的总膜厚为35至55纳米,总折射率为2.12至2.20;

所述氮氧化硅膜的厚度为8至18纳米、折射率为1.6至2.0;

所述氧化硅膜的厚度11至21纳米、折射率1.4至1.6。

作为优选,所述氧化铝膜厚度为8至12纳米、折射率为1.55至1.65。

作为优选,所述氧化铝膜、所述氮化硅膜、所述氮氧化硅膜、所述氧化硅膜相加的总膜厚为62至106纳米,折射率为1.75至2.15,膜色为淡蓝色。

一种提升P型双面电池双面率背膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤;

步骤一,电池片前处理:将电池片装入石墨舟中,并送入沉积炉管内,首先在所述电池片背面上制备所述氧化铝膜;

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