[发明专利]一种晶锭的粘结分离装置及方法有效
申请号: | 201911360479.9 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN111029292B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 薛传艺;宋建;宋金鑫;丁峰;刘先哲;郑荣庆;高立志;刘伟 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 吴绍群 |
地址: | 250118 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 粘结 分离 装置 方法 | ||
1.一种晶锭的粘结分离装置,其特征在于,包括:
定心盘(10),所述定心盘(10)的一个表面上开设有放物孔(11),且所述定心盘(10)的该表面还滑动设置有多个推块(12),各所述推块(12)的滑动方向指向所述放物孔(11),所述定心盘(10)侧面还开设有连通所述放物孔(11)的卸料通道(13);
升降平台(20),所述升降平台(20)滑动地设置在所述放物孔(11)内;
加热装置,用于加热置放于所述升降平台(20)的物料;
卸料部(30),所述卸料部(30)能够在所述卸料通道(13)内移动。
2.如权利要求1所述的晶锭的粘结分离装置,其特征在于,所述推块(12)朝向所述放物孔(11)的一侧设置有第一压力传感器。
3.如权利要求1所述的晶锭的粘结分离装置,其特征在于,所述加热装置设置于所述升降平台(20)。
4.如权利要求1所述的晶锭的粘结分离装置,其特征在于,所述定心盘(10)的外周设置有载物台(40),所述载物台(40)设置有机械臂(41),所述机械臂(41)端部设置有吸盘(42),所述机械臂(41)能够带动所述吸盘(42)朝所述定心盘(10)直线运动,且所述机械臂(41)能够带动所述吸盘(42)绕所述机械臂(41)转动;
所述载物台(40)还设置有载物区(43)。
5.如权利要求4所述的晶锭的粘结分离装置,其特征在于,所述载物台(40)设置有转角气缸(44),所述转角气缸(44)的输出轴安装有压杆(45),以使所述压杆(45)能够绕所述输出轴转动,并使其能够朝所述定心盘(10)直线运动。
6.如权利要求5所述的晶锭的粘结分离装置,其特征在于,所述压杆(45)设置有第二压力传感器。
7.如权利要求4所述的晶锭的粘结分离装置,其特征在于,所述载物台(40)设置有吹风装置(46)。
8.如权利要求1-7任意一项所述的晶锭的粘结分离装置的粘结方法,其特征在于,
将工装、粘结剂依次置于所述升降平台(20),所述加热装置对所述粘结剂进行加热;
将所述晶锭置于所述定心盘(10)中部,所述升降平台(20)进行升降运动使得所述工装接触所述晶锭;
通过所述推块(12)对所述晶锭进行定心;
加热至所述粘结剂融化,所述加热装置停止加热。
9.如权利要求1-7任意一项所述的晶锭的粘结分离装置的分离方法,其特征在于,
将粘结好的晶锭与工装置于所述升降平台(20),所述加热装置对置放于所述升降平台(20)的晶锭与工装进行加热;
加热至所述晶锭与所述工装能够分离,所述加热装置停止加热,将所述晶锭移至下一程序;
所述升降平台(20)升降运动至与所述卸料通道(13)同一平面的位置;
所述卸料部(30)将所述工装推离所述升降平台(20)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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