[发明专利]一种晶锭的粘结分离装置及方法

说明书

本发明提供一种晶锭的粘结分离装置，包括定心盘、升降平台、加热装置和卸料部。其中，定心盘的一个表面上开设有放物孔，且定心盘的该表面还滑动设置有多个推块，各推块的滑动方向指向放物孔，定心盘侧面开设有连通放物孔的卸料通道；升降平台滑动地设置在放物孔内；加热装置用于加热置放于升降平台的物料；卸料部能够在卸料通道内移动。推块能够随着定心盘的转动向定心盘的中心移动，从多个方向接触晶锭，将晶锭推至定心盘的中心并对其固定，加热装置可对粘结剂加热，热熔的粘结剂冷却后可对晶锭与工装进行粘结，在分离晶锭与工装时热熔的粘结剂粘结力下降，配合卸料通道和卸料部可将晶锭与工装分离，工作效率更高，而且粘合时定心更加精准。

技术领域

本发明涉及晶锭加工设备，具体涉及一种晶锭的粘结分离装置及方法。

背景技术

碳化硅又名金刚砂(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅按照硬度来说，只有金刚石，立方氮化硼比碳化硅硬。加工一般采用比其硬的材料加工，由于对于碳化硅的尺寸有要求，需要控制尺寸，加工时就要采用工装来协助加工，此时就需要用粘结剂来粘结晶锭与工装，方便加工。

在采用粘结剂粘接及加工后分离晶锭和工装时，现有技术采用人工粘结和分离，自动化水平低，并且存在定心不准，粘结不牢固，效率低等缺点。

需要说明的是，上述内容属于发明人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种晶锭的粘结分离装置及方法，该晶锭的粘结分离装置及方法能够解决人工操作时定心不准的问题，便于粘结，自动化程度高，且提高了工作效率。

首先，本申请提供了一种晶锭的粘结分离装置，其包括定心盘、升降平台、加热装置和卸料部。其中，定心盘的一个表面上开设有放物孔，且定心盘的该表面还滑动设置有多个推块，各推块的滑动方向指向放物孔，定心盘侧面还开设有连通放物孔的卸料通道；升降平台滑动地设置在放物孔内；加热装置用于加热置放于升降平台的物料；卸料部能够在卸料通道内移动。

工装放在定心盘上，升降平台能够调节放置在平台上的工装在竖直方向的高度位置，便于固定装置对晶锭进行固定。在对晶锭与工装进行粘结时，多个推块向中心移动，从多个方向接触晶锭，将晶锭推至定心盘的中心并对其固定，将粘结剂放入工装中，工装放在平台上由加热装置加热，热融的粘结剂可以对晶锭与工装进行良好的粘结，避免了人工操作时发生定心不准的问题，且自动化程度高、工作效率更高；在对晶锭与工装进行分离时，加热装置可对粘结晶锭与工装的粘结剂进行加热，粘结剂热熔后对晶锭与工装之间的粘结力下降，可将晶锭与工装分离，升降平台可运动至与卸料通道相同平面的位置，由卸料部将工装推离升降平台，从而完成晶锭与工装的分离过程，分离过程简单高效。通过该粘结分离装置可完成晶锭的粘结与分离，工作效率高。

在粘结分离装置的一种可能实现的方式中，推块朝向放物孔的一侧设置有第一压力传感器。当晶锭放置于定心盘上，推块向放物孔移动，将晶锭固定在准确的位置上，第一压力传感器可对推块与晶锭之间的压力大小进行测定，确定推块是否将晶锭夹紧，同时也可以确定推块与晶锭之间的压力是否过大，避免推块对晶锭的压力过大导致晶锭有所受损。

在粘结分离装置的一种可能实现的方式中，加热装置设置在升降平台上。升降平台上放置有粘结剂，加热装置位于升降平台上时，加热装置可直接对粘结剂进行加热，以使其从固体状态变为流体状态，便于对工装与晶锭进行粘结或者对工装与晶锭进行分离。

在粘结分离装置的一种可能实现的方式中，定心盘的外周设置有载物台，载物台设置有机械臂，机械臂端部设置有吸盘，机械臂能够带动吸盘朝定心盘直线运动，且机械臂能够带动吸盘绕机械臂转动；载物台还设置有载物区，载物区用于放置物料，便于对物料的集中管理。吸盘自载物区吸取物料后，机械臂通过带动吸盘做二自由度的运动可精确地将物料转移至升降平台上，同理，机械臂与吸盘也可将物料自升降平台转移至载物区。