[发明专利]WAT设备的测试头及其诊断修复方法有效
| 申请号： | 201911363248.3 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111190091B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张鸣帆;陈炜光 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R35/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | wat 设备 测试 及其 诊断 修复 方法 | ||
1.一种WAT设备的测试头，其特征在于：测试头内包括多个测试板和一个测试头主板，所述测试头主板上设置有多个滑轨卡槽，各所述测试板安装在对应的所述滑轨卡槽内；
所述滑轨卡槽的底部设置有弹性弹簧，在所述弹性弹簧的顶部设置有压力传感器；
在所述滑轨卡槽内还设置有接触式卡槽传感器；
所述测试板安装在对应的所述滑轨卡槽内；
所述接触式卡槽传感器用于检测所述测试板的状态是否良好；
所述压力传感器用于检测所述测试板和所述测试头主板的接触压力是否良好；
所述测试板的内部结构正常以及所述测试板和所述测试头主板的接触压力正常时，所述接触式卡槽传感器和所述压力传感器保持常亮；
当所述压力传感器报警时，信号管理单元对所述压力传感器发出复位信号，所述压力传感器接到所述复位信号后使所述弹性弹簧进行拉伸动作使所述测试板沿所述滑轨卡槽的滑轨进行拉伸并从而使所述测试板复位到初始位置。
2.如权利要求1所述的WAT设备的测试头，其特征在于：所述接触式卡槽传感器和所述压力传感器独立设置。
3.如权利要求2所述的WAT设备的测试头，其特征在于：当所述测试板复位到所述初始位置后，所述接触式卡槽传感器和所述压力传感器都切换到正常的常亮状态时，所述测试头正常工作；
当所述测试板复位到所述初始位置后，所述压力传感器切换到正常的常亮状态，所述接触式卡槽传感器依然报警时，更换所述测试板。
4.如权利要求1所述的WAT设备的测试头，其特征在于：在所述滑轨卡槽的底部表面上，还包括有距离传感器，用于测试所述测试卡的底部表面和所述滑轨卡槽的底部表面之间的间距。
5.如权利要求2所述的WAT设备的测试头，其特征在于：所述弹性弹簧的数量为2个以上，所述压力传感器的数量等于所述弹性弹簧的数量。
6.如权利要求2所述的WAT设备的测试头，其特征在于：各所述测试板共用一个所述信号管理单元；
所述信号管理单元包括逻辑信号管理单元，所述逻辑信号管理单元根据所述压力传感器输出的压力信号并根据压力范围来形成所述压力传感器的状态信号；
所述逻辑信号管理单元负责对应的所述测试板的逻辑信号运算处理；
所述逻辑信号管理单元分别独立执行各所述测试板的逻辑信号运算处理。
7.如权利要求6所述的WAT设备的测试头，其特征在于：所述逻辑信号运算处理包括信号收集和反馈处理。
8.如权利要求1所述的WAT设备的测试头，其特征在于：所述测试板包括relay板，SMU板；
WAT设备包括测量仪器和探针台；
所述测试仪器包括所述测试头和测量仪器机柜；
所述探针台包括装载机和晶圆载物台。
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