[发明专利]WAT设备的测试头及其诊断修复方法

说明书

本发明公开了一种WAT设备的测试头，包括多个测试板和一个测试头主板，测试板安装在对应的滑轨卡槽内。滑轨卡槽的底部设置有弹性弹簧，在弹性弹簧的顶部设置有压力传感器。在滑轨卡槽内还设置有接触式卡槽传感器。测试板安装的底部分别和接触式卡槽传感器和压力传感器接触。接触式卡槽传感器用于检测测试板的状态是否良好。压力传感器用于检测测试板和测试头主板的接触压力是否良好。正常工作时，接触式卡槽传感器和压力传感器保持常亮。当压力传感器报警时，信号管理单元对压力传感器发出复位信号，使弹性弹簧进行拉伸动作实现测试板复位。本发明还公开了一种WAT设备的测试头的诊断修复方法。本发明能对测试头的诊断错误进行自动修复。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种晶圆允收测试(WaferAcceptance Test，WAT)设备的测试头(testhead)。本发明还涉及一种WAT设备的测试头的诊断修复方法。

背景技术

如图1所示，是现有WAT设备的结构示意图；WAT设备包括测量仪器(Tester)和探针台(Prober)。

所述测试仪器包括所述测试头102和测量仪器机柜101。

所述探针台包括装载机(Loader)103和晶圆载物台(Stage)104。通常，晶圆都是放置在晶圆盒(cassette)中，一盒晶圆盒中包括多片晶圆。晶圆盒放置在所述晶圆装载机103上后，再通过机械手将所要测试的晶圆传输到晶圆载物台104。在晶圆上形成有多个测试图形(Testkey)，晶圆载物台104将测试图形的位置移动到扎针位置，之后所述测试头102的探针扎在所述测试图形上实现测试；测试时，通过测量仪器机柜101加测试信号到所述测试图形上并返回测试结果到测量仪器机柜101。

通常，所述测试头102内部包括多个测试板，包括：探针板(pinboard)、中继板(relay board)和信号源测量单元(SMU)板等。

当出现Tester诊断(diag)失败(fail)的时候，通常要拆开Testhead102进行作业，每个测试板都是嵌在Testhead102的底部槽内，均可以进行插拔的动作，通常Tester诊断失败主要有两方面原因：1.测试板与Testhead槽接触不好引起Tester测试异常中断；2测试板本身器件损坏导致Diag fail。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种WAT设备的测试头，能对测试头的诊断(diag)错误进行自动修复。为此，本发明还提供一种WAT设备的测试头的诊断修复方法。

为解决上述技术问题，本发明提供的WAT设备的测试头内包括多个测试板和一个测试头主板，所述测试头主板上设置有多个滑轨卡槽，各所述测试板安装在对应的所述滑轨卡槽内。

所述滑轨卡槽的底部设置有弹性弹簧，在所述弹性弹簧的顶部设置有压力传感器(Press Sensor)。

在所述滑轨卡槽内还设置有接触式卡槽传感器。

所述测试板安装在对应的所述滑轨卡槽内。

所述接触式卡槽传感器用于检测所述测试板的状态是否良好。

所述压力传感器用于检测所述测试板和所述测试头主板的接触压力是否良好。

所述测试板的内部结构正常以及所述测试板和所述测试头主板的接触压力正常时，所述接触式卡槽传感器和所述压力传感器保持常亮。

当所述压力传感器报警时，信号管理单元对所述压力传感器发出复位信号，所述压力传感器接到所述复位信号后使所述弹性弹簧进行拉伸动作使所述测试板沿所述滑轨卡槽的滑轨进行拉伸并从而使所述测试板复位到初始位置。

进一步的改进是，所述接触式卡槽传感器和所述压力传感器独立设置。