[发明专利]一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机

权利要求书

1.一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，包括机身底座(1)，其特征在于，所述机身底座(1)上沿着晶硅输送方向上设有上下料单元和切割单元；所述上下料单元包括上下料机械手(3)和设置在机身底座一侧上料平台(305)；所述切割单元包括回转工作台(2)、切割组件(4)、绕排线组件(8)、磨削组件(9)和抛光组件(10)；所述上下料机械手(3)、切割组件(4)、磨削组件(9)和抛光组件(10)成圆形布置在所述回转工作台(2)外围。

2.根据权利要求1所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述绕排线组件(8)有2个，分别设置在所述切割组件(4)两侧。

3.根据权利要求2所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述回转工作台(2)包括工作台底座和设置在工作台底座上的工作台升降座(201)，所述工作台升降座(201)上部设有数个活动端夹头(203)，活动端夹头(203)通过活动端夹头支座滑动设置在所述工作台升降座(201)上；所述活动端夹头(203)下方设有固定端夹头(204)，固定端夹头(204)通过固定端夹头固定座与固定端夹头驱动装置(205)连接。

4.根据权利要求3所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述活动端夹头(203)顶部连接活动端电机(202)；所述固定端夹头驱动装置(205)底部固定在工作台底座上；所述工作台底座一侧还设有限位装置(102)。

5.根据权利要求1所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述上下料机械手(3)包括机械手底座(301)和机械手支架(302)，机械手支架(302)设置在机械手底座(301)上方，其通过纵向进给丝杠与机械手底座(301)滑动连接；所述机械手支架(302)上设置有夹爪(303)和夹爪气缸，夹爪(303)和夹爪气缸均对称的设置两个；所述夹爪(303)一端与所述夹爪气缸的活塞端固连，其另一端为自由端；所述机械手支架(302)上固设有晶线检测装置(304)，晶线检测装置(304)位于两所述夹爪(303)之间。

6.根据权利要求5所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述切割组件(4)包括切割升降座(405)和滑动设置在切割升降座(405)上的线网框架(401)；所述线网框架(401)下方垂直交错设置有切割轮组(5)，切割轮组(5)包括经向轮组和纬向轮组；所述线网框架(401)的上方设有导向轮组(6)；所述经向轮组和所述纬向轮组分别由线网驱动装置驱动；所述线网框架(401)上设有一进线轮(402)和一出线轮(403)。

7.根据权利要求1所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述绕排线组件(8)包括绕线模组(801)和排线模组(804)，绕线模组(801)包括绕线电机(802)和与绕线电机(802)输出端相连的绕线辊(803)；所述排线模组(804)包括设置在所述绕线模组(801)底部的排线驱动装置；所述排线驱动装置由排线驱动电机、排线滚珠丝杠和排线导轨组成。

8.根据权利要求1所述的一种回转式全自动晶棒开方磨削抛光一体机，其特征在于，所述磨削组件(9)包括磨削升降座(901)和滑动设置在磨削升降座(901)上的磨削机构；所述磨削机构包括对称设置的2个磨轮组件；所述磨轮组件包括磨削主轴座(902)和分别连接磨削主轴座(902)两端的磨削磨轮(903)和磨削电主轴(906)；所述磨削磨轮(903)通过主轴与所述磨削电主轴(906)内的电机输出端连接；所述磨轮组件上还设有磨削尺寸检测组件。