[发明专利]一种石英晶片送料装置的扫频驱动装置及方法有效

专利信息
申请号: 201911365700.X 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111123787B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 郭彬;孔丽微;袁国堂;张林友;郑军;章玮;颜文俊 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: G05B19/042 分类号: G05B19/042
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 318000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶片 装置 驱动 方法
【权利要求书】:

1.一种石英晶片送料装置的扫频驱动装置,其特征在于,包括直流电源、高压电源模块U2、信号发生模块U1和信号发生模块U3、高压运算放大模块U4、电阻以及电容;所述电阻包括可变电阻和固定电阻;所述可变电阻包括可调端和两个固定端;所述直流电源采用线性稳压电源或者开关电源;所述信号发生模块U1和信号发生模块U3的管脚6都与直流电源的正极直接连接;所述高压电源模块U2的管脚1与直流电源的正极直接连接;所述固定电阻R1的一端与信号发生模块U1的管脚4连接,固定电阻R1的另一端与可变电阻TR1的固定端连接;固定电阻R2的一端与信号发生模块U1的管脚5连接,固定电阻R2的另一端与可变电阻TR1的固定端连接,固定电阻R1与固定电阻R2位于可变电阻TR1的同一侧;可变电阻TR1的另一端与直流电源的正极直接连接;信号发生模块U1的管脚11接地,管脚10串联电容C1后接地,管脚3接可变电阻TR3的固定端;所述可变电阻TR3的另一个固定端接地,可变电阻TR3的可调端与信号发生模块U3的管脚8连接;所述固定电阻R3的一端与信号发生模块U3的管脚4连接,固定电阻R3的另一端与可变电阻TR2的固定端连接;固定电阻R4的一端与信号发生模块U3的管脚5连接,固定电阻R4的另一端与可变电阻TR2的固定端连接,固定电阻R3与固定电阻R4位于可变电阻TR2的同一侧;可变电阻TR2的另一端与直流电源的正极直接连接;信号发生模块U3的管脚11接地,管脚10串联电容C2后接地,管脚2接固定电阻R5,固定电阻R5的另一端与高压运算放大模块U4的管脚2连接;所述高压运算放大模块U4的管脚2还与固定电阻R8连接,固定电阻R8的另一端与高压运算放大模块U4的管脚6连接;高压运算放大模块U4的管脚5与高压电源模块U2的管脚2直接连接,高压运算放大模块U4的管脚4接地,高压运算放大模块U4由高压电源模块U2供电;高压运算放大模块U4的管脚1与固定电阻R6连接,固定电阻R6的另一端与可变电阻TR4的可调端连接;高压运算放大模块U4的管脚1还与固定电阻R7连接,固定电阻R7的另一端接地;所述可变电阻TR4的两个固定端分别为接地和连接电源;其中高压运算放大模块U4的管脚7与控制信号的发生装置连接。

2.一种石英晶片送料装置的扫频驱动方法,其特征在于,所述方法基于权利要求1所述的扫频驱动装置实现,所述方法包括扫频信号、驱动信号、控制信号、驱动输出;所述扫频信号由信号发生模块U1获得;所述驱动信号由信号发生模块U3获得;所述驱动输出由高压运算放大模块U4获得,驱动输出包括驱动时域输出以及驱动频域输出;所述控制信号为可编程的方波信号。

3.根据权利要求2所述的一种石英晶片送料装置的扫频驱动方法,其特征在于,所述扫频信号为幅度和周期可调的三角波信号,幅度为A,周期为TFM;扫频信号用于对驱动信号进行频率调制,频率调制用FM表示;扫频信号的幅度A决定驱动信号频率变化的范围Δf;扫频信号的频率为FFM,其中FFM=1/TFM;当R1=R2=R时,扫频信号的频率满足:

FFM=0.33/(TR1+R)*C1

扫频信号的幅值A由可变电阻TR3进行调节。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片送料装置的扫频驱动方法,其特征在于,所述驱动信号为正弦波信号,驱动信号的中心频率为f0;驱动信号接收控制信号调制;被控制信号调制后的驱动信号的频率在f0±Δf范围内,并按照TFM周期进行变化。

5.根据权利要求4所述的一种石英晶片送料装置的扫频驱动方法,其特征在于,所述驱动输出为正弦波电压,驱动输出包括驱动时域输出以及驱动频域输出;所述驱动时域输出是驱动信号经过控制信号的使能控制,然后进行放大获得,仅当控制信号位于高电位时才能够获得有效的驱动输出;所述驱动频域输出表现为以f0为中心频率,Δf为范围的扫频正弦波电压。

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