[发明专利]一种无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺及超高纯石英砂

权利要求书

1.一种无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1.以石英砂原矿为提纯原材料，经高温煅烧后再进行保温处理；

S2.将步骤S1处理后的石英砂进行一次酸浸，然后放入光波微波炉，进行剔除气液包裹体和渗浸处理；

S3.将步骤S2处理后的石英砂进行二次酸浸，然后放入水热反应釜中，进行水热酸浸处理；

S4.将步骤S3处理后的石英砂在超声波条件下用蒸馏水反复冲洗至中性，烘干后得超高纯石英砂；

所述一次酸浸中所用酸溶液为硫酸、盐酸、磷酸和乙二酸的一种或多种，所述硫酸、盐酸、磷酸和乙二酸的质量分数均为0~10wt.%；

所述二次酸浸中的酸溶液为混合酸，混合酸的组成为5~15wt.%的巯基乙酸、1~20wt.%的硫酸、1~20wt.%的硫化钠；所述石英砂与混合酸的体积固液比为1:2~5。

2.根据权利要求1所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，步骤S1中所述石英砂原矿的尺寸为80~220目，二氧化硅的含量大于98%。

3.根据权利要求1所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，步骤S1中所述高温煅烧的温度为900~1300℃，时间为2~6h。

4.根据权利要求1所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，步骤S1中所述保温处理的温度为800~1200℃，时间为2~4h。

5.根据权利要求1所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，步骤S2所述一次酸浸中酸溶液的浓度为1~40wt.%。

6.根据权利要求1所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，步骤S3所述二次酸浸中酸溶液的浓度为10~55wt.%。

7.根据权利要求1所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺，其特征在于，步骤S3中所述水热酸浸反应的温度为60~180℃、时间为2~5h、反应物与水热反应釜的体积比为1~3:5、压力为1.5~3.5MPa。

8.一种根据权利要求1~7任一项所述的无氟无硝酸浸法提纯制备超高纯石英砂的工艺得到的超高纯石英砂。