[发明专利]碱溶性树脂及其制备方法及负型光阻剂组合物

权利要求书

1.一种碱溶性树脂，其特征在于，所述碱溶性树脂是由第1树脂和含羟基化合物R₁进行反应得到的聚合物，所述第1树脂是由a)、b)、c)、d)四种物质共聚得到的共聚物：

a)选自甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸缩水甘油酯、2-乙烯基环氧乙烷、1,2-环氧-9-葵烯、1,2-环氧基-5-己烯、烯丙基缩水甘油醚、4-乙烯基芐基缩水甘油醚中的一种，

b)选自丙烯酸、甲基丙烯酸中的一种，

c)选自下述结构式(1)-(2)中的一种：

d)选自(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸-2-氯代乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇单乙基醚(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙基酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸乙基己基酯、乙二醇甲醚(甲基)丙烯酸酯、聚(丙二醇)甲基醚丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-羟-3-苯氧基丙酯、丙三醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-氯丙基酯、(甲基)丙烯酸酰基辛氧基-2-羟基丙酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、乙氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、三甘醇单乙醚(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三丙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、对-壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、对-壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、羟乙基(甲基)丙烯酸酯、3-氯-2-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、3-氯-2-羟基丙基(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸羟丙基酯、4-羟基丁基丙烯酸酯、聚(乙二醇)甲基醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三溴苯基酯、二环戊烯(甲基)丙烯酸酯、(二环戊二烯基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、2，2-二(1-环戊烯-1-基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯中的一种，

其中，

所述结构式(1)-(2)中的n选自0-4的整数；

所述结构式(1)-(2)中的R选自卤素、呋喃基、环戊基、甲基环戊基、苯基、苯氧基、异氰基中的一种；

所述含羟基化合物R₁选自丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯、丙烯酸-4-羟丁酯、2-甲基丙烯酸-4-羟基丁酯、4-羟基苯乙烯中的一种。

2.根据权利要求1所述的碱溶性树脂，其特征在于，所述a)、b)、c)、d)四种物质的摩尔比为(2～35)：(21～116)：(2～24)：(10～50)。

3.根据权利要求1所述的碱溶性树脂，其特征在于，所述物质a和含羟基化合物R₁的摩尔比为(1～56)：(2～39)。

4.根据权利要求1所述的碱溶性树脂，其特征在于，所述碱溶性树脂的酸值为25～160mgKOH/g。

5.根据权利要求1所述的碱溶性树脂，其特征在于，所述碱溶性树脂的重均分子量为8000～100000。

6.一种包含权利要求1-5任一项所述的碱溶性树脂的负型光阻剂组合物，其特征在于，按质量百分比计包含下列组分：

7.根据权利要求6所述的负型光阻剂组合物，其特征在于，所述负型光阻剂组合物的粘度阈值为5～30mPa·s。