[发明专利]碱溶性树脂及其制备方法及负型光阻剂组合物在审

专利信息
申请号: 201911370442.4 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111285955A 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 王伟;黎敬鹏;丁小卫 申请(专利权)人: 深圳市安立微电子材料有限公司
主分类号: C08F220/06 分类号: C08F220/06;C08F220/32;C08F220/14;C08F220/18;C08F8/14;G03F7/038
代理公司: 深圳市明日今典知识产权代理事务所(普通合伙) 44343 代理人: 王杰辉
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 碱溶性 树脂 及其 制备 方法 负型光阻剂 组合
【说明书】:

发明公开了一种碱溶性树脂、制备该碱溶性树脂的方法和含有该碱溶性树脂的负型光阻剂组合物。本发明的碱溶性树脂在不同的配方或不同的实验条件下均可以得到感光性、显影性、柔韧性及附着力等性能优异的绝缘透明负型光阻剂组合物。绝缘透明负型光阻剂组合物适用于柔性OLED触摸显示屏,作为电极线路的保护层,具有与高分子透明薄膜基板附着好、抗黄变性、感光度高、显影液耐性、分辨率高以及高透光率等优异性能。

技术领域

本发明涉及一种碱溶性树脂、制备该碱溶性树脂的方法和含有该树脂的负型光阻剂组合物。

背景技术

光阻剂又称光致抗蚀剂/光刻胶,主要是由成膜树脂、活性单体、光引发剂和溶剂等组成的光敏混合物。根据化学反应机理和显影原理,光阻剂可分为正型光阻剂和负型光阻剂两类。光阻剂在曝光(UV光)后会分解的称为正型光阻剂,反之,曝光后会反应聚合的则是负型光阻剂。

绝缘透明负型光阻剂作为负型光阻剂的一种,主要用于触摸屏(TP)领域,作为显示屏的透明电极线路的电极保护膜,既要保证触摸屏触点的灵敏性和准确性,又要具有抗黄变性和高透明性,为平板显示的关键材料。现有的技术领域中,虽然也公开了不同成分、不同结构的负型光阻剂组合物,但依然存在光阻剂与高分子透明薄膜基板的附着力,显影性、分辨率、耐化性差的问题。

发明内容

为解决上述现有技术的问题,本发明提供一种碱溶性树脂、制备该碱溶性树脂的方法和含有该树脂的绝缘透明负型光阻剂组合物,本发明通过对树脂结构和制备方法的优化以及光阻剂组合物的组份调整,提高了透明光阻剂与高分子透明薄膜基板的附着力,显影性、分辨率、耐化性等性能,进而提高了透明光阻保护膜的保护作用。

本发明的技术方案如下:

一种碱溶性树脂,所述碱溶性树脂是由第1树脂和含羟基化合物R1进行反应得到的聚合物,所述第1树脂是由a)、b)、c)、d)四种物质共聚得到的共聚物:

a)选自甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸缩水甘油酯、2-乙烯基环氧乙烷、1,2-环氧-9-葵烯、1,2-环氧基-5-己烯、烯丙基缩水甘油醚、4-乙烯基芐基缩水甘油醚中的一种,

b)选自丙烯酸、甲基丙烯酸中的一种,

c)选自下述结构式(1)-(2)中的一种:

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