[发明专利]用于校准坐标测量仪的标准器有效

专利信息
申请号: 201911371274.0 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111380494B 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: V.格雷夫兹;U.霍尔兹;N.哈弗坎普;U.蔡瑟 申请(专利权)人: 卡尔蔡司工业测量技术有限公司
主分类号: G01B21/04 分类号: G01B21/04;G01B11/03;G01C15/02
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王蕊瑞
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 校准 坐标 测量仪 标准
【权利要求书】:

1.一种用于校准坐标测量仪的标准器,其中该标准器(10)具有基体(12),该基体具有永久性校准结构(14),其中该校准结构(14)具有第一组件(15),其中该第一组件(15)以如下方式设计,使得该第一组件(15)向平面的投影(20)的相交于共同点(16)的三条轴线(18)分别穿过相同设计的第一区段(22),其中这些第一区段(22)在一侧分别由该共同点(16)限定,其中这些相同设计的第一区段(22)分别具有n个区(24),其中直接相邻的区(24)的不同之处在于光学特征,其特征在于,n大于或等于3,以及其中该校准结构(14)具有第二组件(57),其中在该第二组件(57)中,直线(54)的第一直线区段(53)与同一直线(54)的第二直线区段(55)是长度相等的,其中该第一直线区段(53)由第一分段(56)的边缘点界定,并且该第二直线区段(55)由第二分段(58)的边缘点界定,其中该第一分段(56)的光学特征与该第二分段(58)的光学特征不同,其中该校准结构(14)具有条形标记(70),其中这些条形标记(70)具有相互间不同的角度(72)。

2.根据权利要求1所述的标准器,其中n大于或等于七。

3.根据权利要求2所述的标准器,其中n大于或等于十一。

4.根据权利要求2所述的标准器,其中n大于或等于十三。

5.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该第一组件(15)以如下方式设计,使得该第一组件(15)向平面的投影(20)的相交于共同点(16)的多于三条轴线(18)穿过相同设计的第一区段(22)。

6.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该校准结构(14)具有第一区域(26)和第二区域(28),其中该第一区域(26)具有第一光学特征(30),其中该第二区域(28)具有第二光学特征(32),其中该第一光学特征(30)不同于该第二光学特征(32),其中该第一区域的最外部的边缘线(34)限定第一几何形状(36),其中该第二区域的最外部的边缘线(38)限定第二几何形状(40),其中该第一几何形状(36)与该第二几何形状(40)是同心的。

7.根据权利要求6所述的标准器,其中该第一几何形状(36)和该第二几何形状(40)选自包括以下项的形状组中的一个或多个:圆(50)、三角形(52)和矩形(64)。

8.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该基体(12)是透明的。

9.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该校准结构(14)具有选自包括以下项的结构组中的一个或多个结构:圆(50)、同心圆(50)、圆形区段(60)、点(62)、三角形(52)、三角形环(63)、矩形(64)、具有恒定间隔的平行的矩形(66)、栅格结构、点栅格和周期性的结构。

10.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该基体(12)大体上由包括以下项的材料组中的材料制成:玻璃、石英玻璃和

11.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该光学特征包括包括以下项的光学特征组中的一个或多个:反射率、吸收率、透射率和折射指数。

12.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该校准结构(14)具有高反射性的铬结构(68)。

13.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该校准结构(14)具有至少70°的边沿陡度。

14.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该校准结构(14)具有至少80°的边沿陡度。

15.根据权利要求1至4之一所述的标准器,其中该校准结构(14)具有至少85°的边沿陡度。

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