[发明专利]用于校准坐标测量仪的标准器有效
申请号: | 201911371274.0 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN111380494B | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | V.格雷夫兹;U.霍尔兹;N.哈弗坎普;U.蔡瑟 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04;G01B11/03;G01C15/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 校准 坐标 测量仪 标准 | ||
一种用于校准坐标测量仪的标准器(10),该标准器具有基体(12),该基体具有永久性校准结构(14)。该校准结构(14)具有第一组件(15)。该第一组件(15)以如下方式设计,使得该第一组件(15)向平面的投影(20)的相交于共同点(16)的三条轴线(18)分别穿过相同设计的第一区段(22)。这些第一区段(22)在一侧分别由共同点(16)界定。这些相同设计的第一区段(22)分别具有n个区(24)。直接相邻的区(24)的不同之处在于光学特征。n大于或等于3。
技术领域
本发明涉及一种用于校准坐标测量仪的标准器(Normal)。该标准器具有基体,该基体具有永久性校准结构。该校准结构具有第一组件。该第一组件以如下方式设计,使得该第一组件向平面的投影的相交于共同点的三条轴线分别穿过(überstreichen)相同设计的第一区段。这些第一区段在一侧分别由共同点界定。这些相同设计的第一区段分别具有n个区。直接相邻的区的不同之处在于光学特征。
背景技术
卡尔蔡斯工业测量技术有限公司DE_60_020_165 I,03/2014的文件“-vonfür die Sicherheit ihrer Messergebnisse[检验体——监测测量仪以用于其测量结果的安全性]”的第8页描述了ZEISS多传感器检查器。ZEISS多传感器检查器是一种用于检验具有触觉/光学传感器的坐标测量仪的设备。ZEISS多传感器检查器的基础是抗弯基体,在该抗弯基体上安装有高精确度的、已校准的度量实体。尤其,检验体具有对应上述标准器的玻璃标尺。玻璃标尺包含用于检验探测偏差的精确的圆形标记和用于检验长度测量偏差的刻度线。
DE 10 2010 000 745 A1公开了一种包含中间区段的校准图案。该中间区段包括设置在校准图案中间的、方形的明亮区域以及设置在中间区段之外的框形图案。
EP 2 312 264 A1公开了一种在工作台上的校准图。该校准图包括不少于两条不平行的线宽图案。线宽图案相对于校准图的参考位置布置。每个线宽图案具有已知的宽度以及高度差。
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国际标准ISO/FDIS 10360-7描述了对(尤其具有图像处理系统的)坐标测量仪的验收检验和确认检验。
已知的标准器仍不是最佳的,尤其是在标准器的定位和/或针对不同的放大率和光学传感器的适用性方面。
发明内容
鉴于此,本发明的目的在于,给出一种开篇所述类型的标准器,该标准器可以在测量时间和普遍的可使用性方面实现以高精确度进行校准。尤其,值得期望的是一种用于对应于国际标准ISO/FDIS 10360-7来使用的标准器。
根据本发明的一个方面,这个目的通过一种用于校准坐标测量仪的开篇所述类型的标准器实现,其中n大于或等于3。
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