[发明专利]一种高密度金属靶材制备工艺

权利要求书

1.一种高密度金属靶材制备工艺，其特征在于：所述工艺为：将靶材(1)放置于靶材驱动总成上后，先对喷涂密封舱(101)抽真空使得舱内形成压力为2Pa的密闭真空环境；随后，靶材驱动总成启动，驱动靶材旋转的同时进行左右平移，与此同时，等离子喷枪系统(201)的喷枪开始喷涂对靶材(1)进行喷涂；且在喷涂过程中，红外温度传感器(106)对靶材(1)的表面温度实时监测，当温度偏离设定点时，等离子喷枪系统(201)的功率以及其供丝速度随之调整，从而让靶材(1)的表面始终保持微熔状态。

2.如权利要求1所述一种高密度金属靶材制备工艺，其特征在于：在喷涂时粉尘传感器(105)将粉尘浓度传递至处理器，处理器控制除尘净化器(104)的伺服电机保证与之匹配的除尘频率；同时通过真空压力传感器(107)和红外温度传感器(106)来调整抽真空机组(103)的输出功率，确保喷涂过程处于动态平衡。

3.如权利要求1所述一种高密度金属靶材制备工艺，其特征在于：所述工艺基于一种低真空氛围靶材制备系统，所述系统包含有喷涂密封舱(101)，所述喷涂密封舱(101)的舱室经过滤器(102)连通至抽真空机组(103)，等离子喷枪系统(201)的喷枪插装于喷涂密封舱(101)内，所述喷涂密封舱(101)内安装有靶材驱动总成；

靶材驱动总成包含有位于喷涂密封舱(101)底面上的滑轨(302)，有一滑板(301)滑动行走于滑轨(302)上，滑板(301)内沿其长度方向设置有一螺孔，有一与滑轨(302)平行的丝杆(303)旋置于螺孔内，且安装于喷涂密封舱(101)底面上的滑移电机(304)驱动丝杆(303)旋转，从而实现推动滑板(303)水平移动；

所述滑板(301)的右端竖向固定设置有右端板(401)，左端板(402)竖向固定设置于移动板(403)上，所述移动板(403)滑动设置于移动滑轨(404)上，移动滑轨(404)位于滑板(301)上，靶材(1)的两端通过端头夹持件(2)分别架设于右端板(401)和左端板(402)上，安装于滑板(301)上的旋转电机(405)经端头夹持件(2)驱动靶材(1)旋转。

4.如权利要求3所述一种高密度金属靶材制备工艺，其特征在于：所述喷涂密封舱(101)的舱室的一端经管路连通至除尘净化器(104)的进气端，除尘净化器(104)的出气端经管路连通至喷涂密封舱(101)的舱室的另一端。

5.如权利要求3所述一种高密度金属靶材制备工艺，其特征在于：所述喷涂密封舱(101)内壁上安装有粉尘传感器(105)、红外温度传感器(106)和真空压力传感器(107)。