[发明专利]一种高密度金属靶材制备工艺

说明书

本发明一种高密度金属靶材制备工艺，所述工艺为：将靶材(1)放置于靶材驱动总成上后，先对喷涂密封舱(101)抽真空使得舱内形成压力为2Pa的密闭真空环境；随后，靶材驱动总成启动，驱动靶材旋转的同时进行左右平移，与此同时，等离子喷枪系统(201)的喷枪开始喷涂对靶材(1)进行喷涂；且在喷涂过程中，红外温度传感器(106)对靶材(1)的表面温度实时监测，当温度偏离设定点时，等离子喷枪系统(201)的功率以及其供丝速度随之调整，从而让靶材(1)的表面始终保持微熔状态。本发明一种高密度金属靶材制备工艺，其能够在真空环境下进行喷涂，从而保证靶材的喷涂质量。

技术领域

本发明涉及一种靶材制备工艺，尤其是涉及一种在密闭低压氛围内进行喷涂的制备工艺。

背景技术

目前，低熔点金属靶材的制备工艺多为铸造工艺，存在晶粒不均匀，内部有气泡等缺陷，并且材料损耗多，成本较高；为此，亟需一种全新的高密度金属靶材制备工艺。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种高密度金属靶材制备工艺，其能够在密闭低压环境下进行喷涂，从而节约材料且保证靶材的喷涂质量。

本发明的目的是这样实现的：

一种高密度金属靶材制备工艺，所述工艺为：将靶材放置于靶材驱动总成上后，先对喷涂密封舱抽真空使得舱内形成压力为2Pa的密闭真空环境；随后，靶材驱动总成启动，驱动靶材旋转的同时进行左右平移，与此同时，等离子喷枪系统的喷枪开始喷涂对靶材进行喷涂；且在喷涂过程中，红外温度传感器对靶材的表面温度实时监测，当温度偏离设定点时，等离子喷枪系统的功率以及其供丝速度随之调整，从而让靶材的表面始终保持微熔状态。

本发明一种高密度金属靶材制备工艺，在喷涂时粉尘传感器将粉尘浓度传递至处理器，处理器控制除尘净化器的伺服电机保证与之匹配的除尘频率；同时通过真空压力传感器和红外温度传感器来调整抽真空机组的输出功率，确保喷涂过程处于动态平衡。

本发明一种高密度金属靶材制备工艺，所述工艺基于一种低真空氛围靶材制备系统，所述系统包含有喷涂密封舱，所述喷涂密封舱的舱室经过滤器连通至抽真空机组，等离子喷枪系统的喷枪插装于喷涂密封舱内，所述喷涂密封舱内安装有靶材驱动总成；

靶材驱动总成包含有位于喷涂密封舱底面上的滑轨，有一滑板滑动行走于滑轨上，滑板内沿其长度方向设置有一螺孔，有一与滑轨平行的丝杆旋置于螺孔内，且安装于喷涂密封舱底面上的滑移电机驱动丝杆旋转，从而实现推动滑板水平移动；

所述滑板的右端竖向固定设置有右端板，左端板竖向固定设置于移动板上，所述移动板滑动设置于移动滑轨上，移动滑轨位于滑板上，靶材的两端通过端头夹持件分别架设于右端板和左端板上，安装于滑板上的旋转电机经端头夹持件驱动靶材旋转。

本发明一种高密度金属靶材制备工艺，所述喷涂密封舱的舱室的一端经管路连通至除尘净化器的进气端，除尘净化器的出气端经管路连通至喷涂密封舱的舱室的另一端。

本发明一种高密度金属靶材制备工艺，所述喷涂密封舱内壁上安装有粉尘传感器、红外温度传感器和真空压力传感器。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明在密闭低压状态下进行喷涂，不但可以减少材料损耗，与空气氛围中喷涂相比，密闭低压状态下的等离子焰焰流更长、能量更高；从而使得喷涂后的靶材产品氧含量低、密度高；同时由于在密闭环境中进行，且采用过滤循环方式，因此喷涂残余粉末能及时被除尘器吸走，产品内部所含细微粉尘量减少，从而使得靶材产品内残余内应力小，报废率低；有效的提高了产品的良品率。

附图说明

图1为本发明一种高密度金属靶材制备系统的结构示意图。

其中：

靶材1、端头夹持件2；