[发明专利]一种硅片生产用滚圆装置在审
申请号: | 201911377685.0 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111113223A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 杨兆安 | 申请(专利权)人: | 杨兆安 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B9/06;B24B29/08;B24B41/06;B24B47/22;B24B41/02;B24B47/12 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 郭童瑜 |
地址: | 322300 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 生产 滚圆 装置 | ||
1.一种硅片生产用滚圆装置,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的底部外壁通过螺栓连接有第一电机(2),且第一电机(2)的输出轴一端设置有下转盘(3),所述工作台(1)顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸(4),且液压缸(4)的活塞一端设置有升降板(9),所述升降板(9)的底部外壁开有圆槽,且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘(5),所述升降板(9)顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔,且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆(6),所述电动伸缩杆(6)的活塞一端设置有顶板(7),且顶板(7)的底部外壁设置有定位筒(8),所述定位筒(8)的内壁开有等距离呈环形分布的滑孔,且滑孔的内壁滑动连接有滑杆(12),所述滑杆(12)的一端外壁焊接有弧形块(13),且滑杆(12)的另一端外壁设置有挡块(14),所述滑杆(12)的外壁套接有弹簧(15)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用滚圆装置,其特征在于,所述工作台(1)的顶部外壁通过螺栓连接有第二电机(16),且第二电机(16)的输出轴一端设置有螺纹丝杠(17),螺纹丝杠(17)的外壁螺纹连接有活动板(18)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片生产用滚圆装置,其特征在于,所述活动板(18)的顶部外壁设置有竖杆(19),且竖杆(19)的外壁通过轴承转动连接有转筒(20),转筒(20)的两侧外壁分别焊接有抛光块(11)和打磨块(10)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片生产用滚圆装置,其特征在于,所述竖杆(19)的顶部外壁开有通槽,且通槽的内壁插接有U形杆(21),抛光块(11)和打磨块(10)的顶部外壁均开有限位孔,限位孔的内壁和U形杆(21)的外壁滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用滚圆装置,其特征在于,所述第一电机(2)、液压缸(4)、电动伸缩杆(6)和第二电机(16)均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有电源。
6.根据权利要求1-5任一所述的一种硅片生产用滚圆装置,其特征在于,所述上转盘(5)的底部外壁开有凹槽(24),且上转盘(5)的底部外壁粘接有橡胶垫(22),橡胶垫(22)的底部外壁开有多个通气孔(23)。
7.根据权利要求6所述的一种硅片生产用滚圆装置,其特征在于,所述上转盘(5)的一侧外壁设置有限位口,且限位口的内壁焊接有圆筒(25),圆筒(25)的一侧外壁开有螺纹孔,螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆(26),螺纹杆(26)的一端外壁焊接有调节轮(28),螺纹杆(26)的另一端外壁粘接有橡胶塞(27)。
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