[发明专利]一种硅片生产用滚圆装置

说明书

本发明公开了一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台，所述工作台的底部外壁通过螺栓连接有第一电机，且第一电机的输出轴一端设置有下转盘，所述工作台顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸，且液压缸的活塞一端设置有升降板，所述升降板的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘，所述升降板顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活塞一端设置有顶板，且顶板的底部外壁设置有定位筒。本发明有效保证硅棒在转动滚圆的过程中硅棒的棱边均能得到同样的打磨，有效提高了加工精准度，并有效提高了硅棒表面的光滑度，滚圆效果更佳。

技术领域

本发明涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种硅片生产用滚圆装置。

背景技术

晶硅硅片的生产过程主要包括单晶硅棒截断、单晶硅棒与多晶硅锭开方、单晶硅块磨面与滚圆、多晶硅块磨面与倒角，多线切割、硅片清洗、硅片检测与包装等，其中滚圆的目的主要是四方形且棱角锋利的硅棒通过滚圆对其形状规范，对棱角倒圆角，使棱角方向的光滑度达到要求，再经过立面磨后直接切片就是成品硅片了。

目前，在对硅棒进行滚圆加工的过程中，很难找到硅棒的中心点位置然后将其固定在滚圆装置上，导致加工出的硅棒的四个圆角处尺寸不一，且只是对硅棒的棱角处进行打磨，光滑度仍达不到要求，因此，亟需设计一种硅片生产用滚圆装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片生产用滚圆装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种硅片生产用滚圆装置，包括工作台，所述工作台的底部外壁通过螺栓连接有第一电机，且第一电机的输出轴一端设置有下转盘，所述工作台顶部外壁的四个拐角处均通过螺栓连接有液压缸，且液压缸的活塞一端设置有升降板，所述升降板的底部外壁开有圆槽，且圆槽的内壁通过轴承转动连接有上转盘，所述升降板顶部外壁的四个拐角处均设置有凹孔，且凹孔的内壁通过螺栓连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活塞一端设置有顶板，且顶板的底部外壁设置有定位筒，所述定位筒的内壁开有等距离呈环形分布的滑孔，且滑孔的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的一端外壁焊接有弧形块，且滑杆的另一端外壁设置有挡块，所述滑杆的外壁套接有弹簧。

作为本发明再进一步的方案：所述工作台的顶部外壁通过螺栓连接有第二电机，且第二电机的输出轴一端设置有螺纹丝杠，螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动板。

作为本发明再进一步的方案：所述活动板的顶部外壁设置有竖杆，且竖杆的外壁通过轴承转动连接有转筒，转筒的两侧外壁分别焊接有抛光块和打磨块。

作为本发明再进一步的方案：所述竖杆的顶部外壁开有通槽，且通槽的内壁插接有U形杆，抛光块和打磨块的顶部外壁均开有限位孔，限位孔的内壁和U形杆的外壁滑动连接。

作为本发明再进一步的方案：所述第一电机、液压缸、电动伸缩杆和第二电机均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有电源。

作为本发明再进一步的方案：所述上转盘的底部外壁开有凹槽，且上转盘的底部外壁粘接有橡胶垫，橡胶垫的底部外壁开有多个通气孔。

作为本发明再进一步的方案：所述上转盘的一侧外壁设置有限位口，且限位口的内壁焊接有圆筒，圆筒的一侧外壁开有螺纹孔，螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的一端外壁焊接有调节轮，螺纹杆的另一端外壁粘接有橡胶塞。

本发明的有益效果为：