[发明专利]一种线性测量系统有效
申请号: | 201911378014.6 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111024137B | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 张子辉;李羿轩;黄煜;王淑荣;林冠宇;曹佃生;杨小虎;李占峰;李寒霜 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 宁晓丹 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 线性 测量 系统 | ||
1.一种线性测量系统,其特征在于,包括辐射源(1)、第一抛物面反射镜(3)、可调光阑(4)、分束镜(5)、第一滤光片轮组(6)、第一平面反射镜(7)、第二平面反射镜(8)、第二滤光片轮组(9)、合束镜(10)、第三滤光片轮组(11)、第二抛物面反射镜(12)和导光棒(14);所述辐射源(1)的谱段包括250nm-2500nm,分束镜(5)与透射信号光呈75°,合束镜(10)与经其合束得到的信号光呈75°;所述第一滤光片轮组(6)、第二滤光片轮组(9)和第三滤光片轮组(11)均采用中性衰减滤光片、谱段均包括250nm-2500nm;
辐射源(1)出射的信号光依次经第一抛物面反射镜(3)准直、经可调光阑(4)限束后入射到分束镜(5)上分成透射信号光和反射信号光,透射信号光经第一滤光片轮组(6)滤光和第一平面反射镜(7)反射后入射到合束镜(10)上,反射信号光经第二滤光片轮组(9)滤光和第二平面反射镜(8)反射后入射到合束镜(10)上,合束镜(10)将入射到其上光的合为一束平行信号光,合束后的信号光依次经第三滤光片轮组(11)滤光、经第二抛物面反射镜(12)聚焦于导光棒(14)的前表面、经导光棒(14)传导与匀化后出射。
2.如权利要求1所述的一种线性测量系统,其特征在于,所述系统还包括第一消杂光光阑(2)和第二消杂光光阑(13),所述第一消杂光光阑(2)位于辐射源(1)和第一抛物面反射镜(3)之间,所述第二消杂光光阑(13)位于第二抛物面反射镜(12)和导光棒(14)之间。
3.如权利要求1所述的一种线性测量系统,其特征在于,所述辐射源(1)包括卤钨灯、LED灯和氙灯。
4.如权利要求1所述的一种线性测量系统,其特征在于,所述分束镜(5)和合束镜(10)的分光比均为1:1。
5.如权利要求1所述的一种线性测量系统,其特征在于,所述第一平面反射镜(7)和第二平面反射镜(8)平行设置。
6.如权利要求1所述的一种线性测量系统,其特征在于,所述第一滤光片轮组(6)的各个滤光片之间的透过率不同,第二滤光片轮组(9)的各个滤光片之间的透过率不同,第三滤光片轮组(11)的各个滤光片之间的透过率不同。
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